[发明专利]一种PERC太阳能电池氧化层及其优化方法在审

专利信息
申请号: 202211016703.4 申请日: 2022-08-24
公开(公告)号: CN115295679A 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 齐利娜;任勇;何悦;彭宏杰;吕志翔;任永伟;周永安 申请(专利权)人: 横店集团东磁股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;C30B29/06;C30B33/00;C30B33/02;H01L31/0216
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 赵颖
地址: 322118 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 perc 太阳能电池 氧化 及其 优化 方法
【权利要求书】:

1.一种PERC太阳能电池氧化层的优化方法,其特征在于,所述优化方法包括依次进行的进舟、恒压、检漏、恒温、氧化、充氮和出舟;

所述恒压包括依次进行的第一恒压、第二恒压和第三恒压;

所述氧化包括依次进行的第一氧化和第二氧化;

所述氧化伴随着氮气和氧气的通入,且氮氧流量比为1:(2-4);

所述恒压至充氮的过程中炉内温度从炉口至炉尾逐渐降低。

2.根据权利要求1所述的优化方法,其特征在于,所述恒压至充氮的过程中炉口温度比炉中温度高5-10℃;

优选地,所述恒压至充氮的过程中炉中温度比炉尾温度高5-10℃;

优选地,所述进舟和出舟的温度比中间各步温度高20-30℃。

3.根据权利要求1或2所述的优化方法,其特征在于,所述进舟的温度为600-800℃;

优选地,所述进舟的小氮流量为400-600sccm;

优选地,所述进舟的大氮流量为2000-4000sccm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的优化方法,其特征在于,所述第一恒压的时间为100-300s;

优选地,所述第一恒压的压力为50-150mbar;

优选地,所述第一恒压的温度为650-700℃;

优选地,所述第一恒压的小氮流量为100-300sccm;

优选地,所述第二恒压的时间为200-300s;

优选地,所述第二恒压的压力为600-800mbar;

优选地,所述第二恒压的温度为650-700℃;

优选地,所述第二恒压的小氮流量为100-300sccm;

优选地,所述第二恒压的大氮流量为10000-20000sccm;

优选地,所述第三恒压的时间为100-200s;

优选地,所述第三恒压的压力为50-150mbar;

优选地,所述第三恒压的温度为650-700℃;

优选地,所述第三恒压的小氮流量为100-300sccm。

5.根据权利要求1-4任一项所述的优化方法,其特征在于,所述检漏的时间为30-90s;

优选地,所述检漏的压力为950-1050mbar;

优选地,所述检漏的温度为650-700℃;

优选地,所述恒温的时间为30-90s;

优选地,所述恒温的压力为50-150mbar;

优选地,所述恒温的温度为650-700℃;

优选地,所述恒温的小氮流量为100-300sccm。

6.根据权利要求1-5任一项所述的优化方法,其特征在于,所述第一氧化的时间为250-350s,进一步优选为320-350s;

优选地,所述第一氧化的压力为50-150mbar;

优选地,所述第一氧化的温度为650-700℃;

优选地,所述第一氧化的氮气流量为2000-4000sccm;

优选地,所述第一氧化的氧气流量为6000-10000sccm;

优选地,所述第二氧化的时间为1500-1700s,进一步优选为1500-1600s;

优选地,所述第二氧化的压力为50-150mbar;

优选地,所述第二氧化的温度为650-700℃;

优选地,所述第二氧化的氮气流量为2000-4000sccm;

优选地,所述第二氧化的氧气流量为6000-10000sccm。

7.根据权利要求1-6任一项所述的优化方法,其特征在于,所述充氮的时间为100-140s;

优选地,所述充氮的压力为950-1050mbar;

优选地,所述充氮的温度为650-700℃。

8.根据权利要求1-7任一项所述的优化方法,其特征在于,所述出舟的温度为600-800℃;

优选地,所述出舟的小氮流量为400-600sccm;

优选地,所述出舟的大氮流量为2000-4000sccm。

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