[发明专利]一种负压式自动气体处置系统

说明书

本发明涉及气体处置领域，且公开了一种负压式自动气体处置系统，包括存放单元、侦测单元、监控单元、控制单元、动力单元、传输单元和处置单元，所述存放单元的输入端与侦测单元的连接，所述侦测单元与监控单元以及控制单元连接，控制单元的输出端连接有处置单元以及动力单元，所述存放单元与动力单元之间通过传输单元连接，传输单元与处置单元之间通过传输单元连接，该负压式自动气体处置系统，针对剧毒气体在仓库存储、气体柜供应、阀箱中转分支等环节中一旦发生泄漏，能够立马将泄漏出的气体自动抽到另一组处置单元进行消除，不让漏出的气体外泄造成人员伤害和环境污染。

技术领域

本发明涉及气体处置领域，具体为一种负压式自动气体处置系统。

背景技术

芯片制造前道工序大概分为清洗、氧化、光刻、刻蚀、离子注入、去胶、扩散、薄膜、机械研磨和电学测试等步骤，其中干法刻蚀和离子注入工艺中需要使用AsH3、PH3、Cl2气体，由于是剧毒的属性，诸多法律法规严格的限制了剧毒化学品在设计、生产、购买、运输、存储、使用和处置的整个生命周期。芯片制造工厂会涉及到存储、使用和处置的环节。现有的系统中并没有针对在仓库存储、气体柜供应、阀箱中转分支等环节中发生泄漏的处理方法，为此我们提出了一种负压式自动气体处置系统。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种负压式自动气体处置系统，解决了上述的问题。

(二)技术方案

为实现上述所述目的，本发明提供如下技术方案：一种负压式自动气体处置系统，包括存放单元、侦测单元、监控单元、控制单元、动力单元、传输单元和处置单元，所述存放单元的输入端与侦测单元的连接，所述侦测单元与监控单元以及控制单元连接，控制单元的输出端连接有处置单元以及动力单元，所述存放单元与动力单元之间通过传输单元连接，传输单元与处置单元之间通过传输单元连接。

优选的，存放单元包括存储柜、门体、连接装置以及瓶体固定装置，所述门体铰接在存储柜上，所述门体上设置有两个玻璃，两个所述门体上均固定安装有把手，所述连接装置设置在存储柜的底部，所述瓶体固定装置设置在存储柜的内部。

优选的，所述连接装置包括连接管以及连接管，所述连接管连接存储柜的内部，所述连接管螺纹连接在连接管上，所述连接管的底部内壁上为扩口形。

优选的，所述瓶体固定装置包括横板，所述横板固定安装在存储柜的内部，所述横板上开设有固定槽，所述横板对应两个固定槽的位置上设置有夹持装置。

优选的，所述夹持装置包括旋转块、螺纹块、螺纹柱以及矩形块组成，所述横板对应两个固定槽的位置上开设有开口，所述旋转块设置在开口的内部，所述开口的两侧内壁上开设有与固定槽连通的横槽，所述横槽的横截面为矩形，所述矩形块插接在横槽的内部，所述旋转块对应横槽内部一侧壁面上固定安装有螺纹块，所述螺纹块中螺纹连接有螺纹柱，所述螺纹柱与矩形块活动连接在一起，旋转块两侧的螺纹块内壁中的内螺纹为相反方向，所述矩形块位于固定槽内部的一侧设置有夹持块。

优选的，所述横槽对应矩形块的位置上开设有内壁槽，所述矩形块对应内壁槽位置上固定安装有卡块，所述卡块与内壁槽活动卡接在一起。

优选的，控制单元采用PLC可编程逻辑控制器。

优选的，动力单元使用半导体级真空泵提供动力，一端连接气体存储柜，一端连接气体处理设备，一条数据线连接控制器。

优选的，监控单元由显示器和扬声器组成。

优选的，传输单元采用直径为一百毫米的不锈钢材质管路作为抽吸气体的传输设施。

优选的，处置单元采用砷化氢、磷化氢吸附过滤设备以及氯气吸附过滤设备。

(三)有益效果