[发明专利]一种稳定性好的气体静压轴承系统装置

权利要求书

1.一种稳定性好的气体静压轴承系统装置，其特征在于：包括供气模块、轴承结构、轴承止推板(2)、电磁控制模块和传感器测量模块，轴承止推板(2)安装在轴承结构内，供气模块为轴承结构供气，传感器测量模块测量轴承结构内的参数，电磁控制模块控制轴承结构中轴承间的间隙，使得轴承更稳定。

2.根据权利要求1所述的一种稳定性好的气体静压轴承系统装置，其特征在于：所述轴承结构包含轴承主结构、电磁线圈(7)、涡旋控制器(8)和节流器(9)，轴承主结构包括轴承壳体(1)和进气孔(3)，轴承止推板(2)、进气孔(3)、电磁线圈(7)和涡旋控制器(8)安装在轴承壳体(1)内，节流器(9)安装在进气孔(3)内，控制进气孔(3)内气体流量。

3.根据权利要求1所述的一种稳定性好的气体静压轴承系统装置，其特征在于：所述轴承壳体(1)包括轴承内圈和轴承外圈，轴承止推板(2)的底部位于轴承内圈和轴承外圈之间，轴承外圈的数量为二且平行布置，轴承止推板(2)的另一部分位于相邻轴承外圈之间，进气孔(3)安装在轴承外圈上。

4.根据权利要求3所述的一种稳定性好的气体静压轴承系统装置，其特征在于：所述轴承内圈的截面为“凸”字型结构，涡旋控制器(8)安装在轴承内圈的端面上，电磁线圈(7)安装在轴承内圈凸出部分的侧面上。

5.根据权利要求1所述的一种稳定性好的气体静压轴承系统装置，其特征在于：所述轴承止推板(2)为回转体结构，轴承止推板(2)的截面呈倒置的T字型结构，轴承止推板(2)的底部上安装有金属橡胶层(5)，轴承止推板(2)底部两边安装有永磁环(6)，永磁环(6)的数量为二且对称的分布在轴承止推板(2)的两边。

6.根据权利要求1所述的一种稳定性好的气体静压轴承系统装置，其特征在于：所述电磁控制模块包括电磁控制器(10)，电磁控制器(10)与电磁线圈(7)电连接，电磁控制器(10)控制电磁线圈(7)工作。

7.根据权利要求6所述的一种稳定性好的气体静压轴承系统装置，其特征在于：所述传感器测量模块包括位移传感器(4)、上位机(11)和信号处理器(12)，位移传感器(4)安装在轴承外圈上，位移传感器(4)与信号处理器(12)电连接，电磁控制器(10)和信号处理器(12)分别与上位机(11)电连接。

8.根据权利要求7所述的一种稳定性好的气体静压轴承系统装置，其特征在于：所述位移传感器(4)采集振动数据，位移传感器(4)的精度要小于1μm，位移传感器(4)的表面加工误差小于1μm，以防止因自身误差带来较大测量误差。

9.根据权利要求1所述的一种稳定性好的气体静压轴承系统装置，其特征在于：所述涡旋控制器(8)是用MEMS技术和蚀刻方法加工成的矮方形空腔体，底面薄膜材料采用含有金属的聚酰亚胺，并且集成压电陶瓷片。

10.根据权利要求7所述的一种稳定性好的气体静压轴承系统装置，其特征在于：所述电磁控制器(10)包括通信模块、主控芯片、PWM模块和功率放大器，通信模块与上位机(11)电连接并进行信号传输，主控芯片分别与通信模块、PWM模块和功率放大器电连接，PWM模块驱动功率放大器工作，功率放大器与电磁线圈(7)电连接，将作用于电磁线圈(7)上的电流功率进行放大。