[发明专利]一种数据采集频率确定方法和一种数据采集客户端

权利要求书

1.一种数据采集频率确定方法，其特征在于，应用于数据采集客户端，所述数据采集客户端通过数据采集服务端与半导体工艺设备端相连，所述方法包括：

创建数据采集计划信息，并向所述数据采集服务端发送所述数据采集计划信息；所述数据采集计划信息包括采集开始指令、采集终止指令和数据采集次数；

接收所述数据采集服务端根据所述采集开始指令反馈的采集开始时间点和根据所述采集终止指令反馈的采集终止时间点；

根据所述采集开始时间点、所述采集终止时间点和所述数据采集次数确定数据采集频率。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述采集开始时间点、所述采集终止时间点和所述数据采集次数确定数据采集频率，包括：

基于所述采集开始时间点和所述采集终止时间点，确定采集时间差；

计算所述数据采集次数与所述采集时间差的商值，确定所述商值为所述数据采集频率。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

创建第一会话连接请求，并向所述数据采集服务端发送所述会话连接请求；所述会话连接请求包括目标半导体工艺设备端标识；

接收所述数据采集服务端根据所述目标半导体工艺设备端标识反馈的第二会话连接请求，以通过所述数据采集服务端与目标半导体工艺设备端建立连接。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述数据采集计划信息包括多项子数据采集计划信息，所述子数据采集计划信息与负载参数对应；所述创建数据采集计划信息，并向所述数据采集服务端发送所述数据采集计划信息，包括：

接收所述目标半导体工艺设备端发送的负载参数；

依据所述负载参数确定目标子数据采集计划信息；

将所述目标子数据采集计划信息发送至所述数据采集服务端。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述采集开始指令包括采集开始条件；所述数据采集服务端设置有非响应式接口；所述数据采集服务端用于获取所述目标半导体工艺设备端的运行参数；当所述运行参数满足所述采集开始条件时，触发所述采集开始指令，采集非响应式接口的数据，记录当前时间点为所述采集开始时间点。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述采集终止指令包括采集终止条件；所述数据采集服务端设置有非响应式接口；所述数据采集服务端用于读取所述非响应式接口采集的目标参数；当所述目标参数满足所述采集终止条件时，触发所述采集终止指令，记录当前时间点为所述采集终止时间点。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述数据采集计划信息还包括理论采集时间间隔；所述方法还包括：

基于所述理论采集时间间隔确定理论采集频率；

计算所述理论采集频率和所述数据采集频率的频率差值；所述频率差值用于表征所述数据采集服务端的采集数据性能。

8.一种数据采集客户端，其特征在于，所述数据采集客户端通过数据采集服务端与半导体工艺设备端相连，

所述数据采集客户端用于创建数据采集计划信息，并向所述数据采集服务端发送所述数据采集计划信息；所述数据采集计划信息包括采集开始指令、采集终止指令和数据采集次数；接收所述数据采集服务端根据所述采集开始指令反馈的采集开始时间点和根据所述采集终止指令反馈的采集终止时间点；根据所述采集开始时间点、所述采集终止时间点和所述数据采集次数确定数据采集频率。

9.根据权利要求8所述的数据采集客户端，其特征在于，所述数据采集客户端还用于基于所述采集开始时间点和所述采集终止时间点，确定采集时间差；计算所述数据采集次数与所述采集时间差的商值，确定所述商值为所述数据采集频率。

10.根据权利要求8所述的数据采集客户端，其特征在于，所述数据采集客户端还用于创建第一会话连接请求，并向所述数据采集服务端发送所述会话连接请求；所述会话连接请求包括目标半导体工艺设备端标识；接收所述数据采集服务端根据所述目标半导体工艺设备端标识反馈的第二会话连接请求，以通过所述数据采集服务端与目标半导体工艺设备端建立连接。