[发明专利]一种圆顶安装治具

权利要求书

1.一种圆顶安装治具，用于将圆顶组件安装于腔室顶盖内侧，所述圆顶组件具有多个连接孔，用于配合连接件锁定所述圆顶组件和所述腔室顶盖，且所述多个连接孔围绕所述圆顶组件的轴线环形分布，其特征在于，包括：固定板、驱动机构和支架；

所述固定板通过所述驱动机构安装于所述支架；所述驱动机构用于驱动所述固定板带动所述圆顶组件沿预设方向朝向所述腔室顶盖动作；

所述固定板具有安装面，用于暂固所述圆顶组件，所述固定板上设置有与所述圆顶组件的多个连接孔对应的通孔结构；所述圆顶组件的多个连接孔中至少两个连接孔形成第一连接孔组，所述通孔结构包括与所述第一连接孔组对应的第一通孔组，所述第一通孔组用于露出所述第一连接孔组，以当所述圆顶组件与所述腔室顶盖接触时锁紧所述圆顶组件与所述腔室顶盖。

2.根据权利要求1所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述第一通孔组包括与所述第一连接孔组中的连接孔一一对应的第一通孔。

3.根据权利要求1所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述圆顶组件的多个连接孔中至少两个连接孔形成第二连接孔组；

所述圆顶安装治具还包括安装于所述固定板的定位机构，所述定位机构凸出于所述安装面并与所述第二连接孔组配合定位。

4.根据权利要求3所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述通孔结构还包括与所述第二连接孔组对应的第二通孔组；所述第二通孔组包括与所述第二连接孔组中的连接孔一一对应的第二通孔，所述定位机构包括与所述第二通孔一一对应的定位杆，所述定位杆与所述第二通孔连接并探出所述安装面。

5.根据权利要求1所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述圆顶安装治具还包括第一导向机构，所述第一导向机构安装于所述腔室顶盖，并与所述固定板滑动配合以为所述圆顶组件朝向所述腔室顶盖动作时提供导向作用。

6.根据权利要求5所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述圆顶组件的多个连接孔中至少一个连接孔形成第三连接孔组，所述通孔结构还包括与所述第三连接孔组对应的第三通孔组，所述第一导向机构包括与所述第三连接孔组中连接孔一一对应的第一导向杆，所述第一导向杆用于与所述第三连接孔组以及所述第三通孔组配合导向。

7.根据权利要求6所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述第三通孔组包括与所述第三连接孔组中的连接孔一一对应的第三通孔。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述驱动机构包括驱动杆、固定架和连接杆，所述驱动杆安装于所述支架，且通过所述固定架与所述连接杆传动连接，所述连接杆背离所述固定架一端与所述固定板连接。

9.根据权利要求8所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述圆顶组件的多个连接孔中至少两个连接孔形成第四连接孔组，所述通孔结构还包括与所述第四连接孔组对应的第四通孔组，所述第四通孔组包括与所述第四连接孔组中的连接孔一一对应的第四通孔，所述连接杆与所述固定板通过所述第四通孔连接。

10.根据权利要求9所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述连接杆贯穿所述第四通孔并与所述圆顶组件连接。

11.根据权利要求10所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述第四通孔为沉台孔，且所述第四通孔的沉台位于所述固定板背离所述安装面一侧。

12.根据权利要求8所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述圆顶安装治具还包括第二导向机构，所述第二导向机构安装于所述支架与所述固定架之间，用于为所述固定架沿预设方向动作时提供导向作用。

13.根据权利要求12所述的圆顶安装治具，其特征在于，所述第二导向机构包括多个第二导向杆，任意一个所述第二导向杆与所述固定架的连接处均为第一位点，所述驱动杆与所述固定架的连接处为第二位点，多个所述第一位点与所述第二位点之间的距离均相等。