[发明专利]一种固晶设备的电机散热结构及直线电机

说明书

本发明公开了一种固晶设备的电机散热结构，包括上下相对设置的进气通道和出气通道，所述进气通道，用于将所述直线电机外部的低温气流导入至所述直线电机内部，包括依次连通的第一进气口、高压腔体和第一出气口；所述出气通道，用于将所述直线电机内部的高温气流导出至所述直线电机外部，包括依次连通的第二进气口、导流腔体和第二出气口；其中，所述第一出气口和第二进气口朝向同一方向。该电机散热结构用于对直线电机进行散热。本发明还提供一种直线电机，包括上述的电机散热结构。

技术领域

本发明涉及晶片固晶设备，尤其涉及一种固晶设备的电机散热结构及直线电机。

背景技术

在晶片固晶时，需要驱动固晶邦头升降和平移，以将固晶邦头移动到适当的高度和位置取放搬运晶片。当前，固晶设备一般是采用三个直线电机来分别驱动固晶邦头在横向、纵向和竖向这三个方向上进行高速移动，在高速移动的过程中，直线电机的内部产生大量热量，致使直线电机的温度升高，而影响到工作性能。

发明内容

为了解决上述现有技术的不足，本发明提供一种电机散热结构，用于对直线电机进行散热。

本发明还提供一种直线电机，包括上述的电机散热结构。

本发明所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：

一种固晶设备的电机散热结构，用于对直线电机进行散热，包括上下相对设置的进气通道和出气通道，其中

所述进气通道，用于将所述直线电机外部的低温气流导入至所述直线电机内部，包括依次连通的第一进气口、高压腔体和第一出气口；

所述出气通道，用于将所述直线电机内部的高温气流导出至所述直线电机外部，包括依次连通的第二进气口、导流腔体和第二出气口；

其中，所述第一出气口和第二进气口朝向同一方向。

进一步地，所述高压腔体包括进气连通腔、高压连通腔和出气连通腔，所述第一进气口与所述进气连通腔相连通，所述第一出气口与所述出气连通腔相连通，所述高压连通腔连通于所述进气连通腔和出气连通腔之间；所述进气连通腔和出气连通腔均呈左右走向，且位置沿上下方向和左右方向相错开。

进一步地，所述高压连通腔的口径大于所述进气连通腔和出气连通腔的口径。

进一步地，所述高压连通腔内开设有多个缓冲槽。

进一步地，所述高压连通腔的横截面呈直角梯形，其梯形斜面上通过所述缓冲槽形成有阶梯结构，以使所述高压连通腔的口径沿气流方向逐渐变大后、再逐渐变小。

进一步地，所述导流腔体朝向所述进气通道的一面为导流斜面，所述导流斜面朝所述第一出气口的方向倾斜。

进一步地，所述第二进气口大于所述第二出气口，以使所述导流腔体的口径从与所述第二进气口连通的一端向与所述第二出气口连通的一端逐渐减小。

一种固晶设备的直线电机，包括第一固定板、第二固定板、定子和动子，所述第一固定板和第二固定板相对设置，所述定子和动子设置于所述第一固定板和第二固定板之间，所述定子用于驱动所述动子沿直线移动；其特征在于，以及两个上述的电机散热结构，两个电机散热结构设置于所述所述第一固定板和第二固定板之间，所述定子位于两个电机散热结构之间；两个电机散热结构的第一进气口和第一出气口均朝向所述动子，其中一个电机散热结构的第一进气口朝向所述动子的上侧表面，第二出气口朝向所述动子的下侧表面，另一个电机散热结构的第一进气口朝向所述动子的下侧表面，第二出气口朝向所述动子的上侧表面。