[发明专利]声表面波器件

权利要求书

1.一种声表面波器件，其特征在于，包括依次叠置的压电薄膜层和衬底层，以及包括设在所述压电薄膜层的远离所述衬底层一侧的叉指换能器，所述压电薄膜层为铌酸锂薄膜；

所述压电薄膜层利用水平剪切型声表面波，所述压电薄膜层的欧拉角为(0°，90±10°，90±10°)；

或者，所述压电薄膜层利用高阶瑞利型声表面波，所述压电薄膜层的欧拉角为(50±5°，20±5°，0°)。

2.根据权利要求1的声表面波器件，其特征在于，所述压电薄膜层利用水平剪切型声表面波，所述压电薄膜层的欧拉角为(0°，90°，90°)；或者，所述压电薄膜层利用高阶瑞利型声表面波，所述压电薄膜层的欧拉角为(50°，20°，0°)。

3.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，还包括能量限制层，所述能量限制层位于所述压电薄膜层和所述衬底层之间，所述能量限制层的材料声速与所述压电薄膜层的材料声速不同。

4.根据权利要求3所述的声表面波器件，其特征在于，所述能量限制层为高声速层，所述高声速层的材料声速高于所述压电薄膜层的材料声速。

5.根据权利要求4所述的声表面波器件，其特征在于，所述高声速层为金刚石层或金属铂层或金属钼层。

6.根据权利要求3所述的声表面波器件，其特征在于，所述能量限制层为低声速层，所述低声速层的材料声速低于所述压电薄膜层的材料声速。

7.根据权利要求6所述的声表面波器件，其特征在于，所述低声速层为二氧化硅层、二氧化钛层或氟氧化硅层。

8.根据权利要求3-7中任一项所述的声表面波器件，其特征在于，所述压电薄膜层利用水平剪切型声表面波，所述压电薄膜层的厚度为0.4λ-0.8λ，λ为声表面波的波长；

或者，所述压电薄膜层利用高阶瑞利型声表面波，所述压电薄膜层的厚度为0.15λ-0.4λ，λ为声表面波的波长。

9.根据权利要求3-7中任一项所述的声表面波器件，其特征在于，所述压电薄膜层利用水平剪切型声表面波，所述叉指换能器包括铝电极，所述铝电极的厚度为0.08±0.01λ或0.02±0.01λ，λ为声表面波的波长；

或者，所述压电薄膜层利用高阶瑞利型声表面波，所述叉指换能器包括铝电极，所述铝电极的厚度为0.01±0.005λ，λ为声表面波的波长。

10.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，所述叉指换能器包括铝电极、钛电极、铬电极、铜电极、银电极中的至少一者。