[发明专利]光学位置测量设备

权利要求书

1.一种光学位置测量设备，用于检测至少两个标尺的相对位置，所述标尺能够沿两个测量方向相对彼此移动，并且所述标尺布置在不同的平面中并且彼此相交地布置，其中，

两个所述标尺各自具有至少一个测量分度，所述测量分度具有沿至少一个测量方向周期性地布置的光栅区域，所述光栅区域具有不同的光学特性，并且所述标尺的纵向延伸方向分别平行于第一测量方向或第二测量方向地定向，并且

由光源发射的照明射束在第一标尺处分裂成至少两个子射束，并且

所述子射束然后加载到第二标尺并且朝所述第一标尺的方向反射回来，并且

反射回来的所述子射束重新射到所述第一标尺上并且在所述第一标尺上再次组合，从而随后使至少一个产生的信号射束朝检测单元的方向传播，经由所述检测单元能够产生关于所述标尺沿所述第一测量方向或第二测量方向的相对移动的、一个或多个位置相关的扫描信号，

其特征在于，

至少一个标尺(30、40；130.1、130.2、140.1、140.2)的测量分度(G1、G2、G3；31、41；1131.1、1131.2、1141.1、1141.2)设计为二维的十字光栅(131.1；231.1、331.1；431.1；531.1；631.1)，所述十字光栅具有过滤作用，以抑制在所述十字光栅(131.1；231.1、331.1；431.1；531.1；631.1)处干扰的较高的衍射级。

2.根据权利要求1所述的光学位置测量设备，其特征在于，所述十字光栅(131.1；231.1，331.1；431.1；531.1；631.1)具有带不同光学特性的棋盘式布置的第一平面测量分度区域(M1₁)和第二平面测量分度区域(M1₂)，所述第一平面测量分度区域和所述第二平面测量分度区域沿所述纵向延伸方向(R_L1)周期性地以第一区域周期性(P_B1)布置，并且所述第一平面测量分度区域和所述第二平面测量分度区域沿所述十字光栅(131.1；231.1；331.1；431.1；531.1；631.1)的横向延伸方向(R_Q1)周期性地以第二区域周期性(P_B2)棋盘式地布置，所述横向延伸方向正交于所述纵向延伸方向(R_L1)地定向，其中，一维或二维的周期性的线性光栅与所述第一平面测量分度区域(M1₁)和所述第二平面测量分度区域(M1₂)叠加。