[发明专利]一种纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层及其制备方法在审
申请号: | 202211035260.3 | 申请日: | 2022-08-26 |
公开(公告)号: | CN115341167A | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 刘俊凯;杨丽;周益春;程春玉;曹可;李聪;孙宇;李桂芳 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | C23C8/24 | 分类号: | C23C8/24;C23C8/02;C23C8/80;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/35 |
代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 贺建斌 |
地址: | 710071*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纳米 zrn 扩散 屏蔽 及其 制备 方法 | ||
1.一种纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层,其特征在于:包括锆合金基体表面设有的纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层,纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层外侧设有Cr金属涂层。
2.根据权利要求1所述的一种纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
第一步,对锆合金基体的样品表面进行预处理,使得样品表面呈镜面且光洁;
第二步,将预处理后的样品在氮气环境中进行激光表面喷丸处理以生成ZrN扩散屏蔽层;
第三步,将激光表面喷丸处理后的样品冷却至室温,得到锆合金表面纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层;
第四步,在样品纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层外侧喷涂Cr金属涂层,最终得到锆合金基体外依次设有纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层、Cr金属涂层。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于:在第二步激光处理过程中,生成的ZrN会受到激光的冲击作用,在冲击应力的作用下ZrN内会生成纳米孪晶结构;此外在第三步激光表面喷丸处理后,样品表面温度从高温降低到室温,在该过程中的热应力作用也有利于ZrN内纳米孪晶结构的生成,最终生成纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层。
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于:所述的第一步预处理包括打磨、抛光以及超声清洗。
5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于:所述的第二步激光表面喷丸处理参数为:将样品夹持在样品架上,启动脉冲激光器,加载电压,激光能量50-600mJ,波长为532nm,重复频率10Hz,脉冲宽度8nm,扫描速度0.1-5mm/s,光斑直径0.5-4mm,所用气氛为纯氮气或氮气+惰性气体。
6.根据权利要求2所述的方法,其特征在于:所述的第三步冷却环境为纯氮气或氮气+惰性气体。
7.根据权利要求2所述的方法,其特征在于:所述的第四步喷涂方法包括磁控溅射、电弧离子镀、冷喷涂等;Cr金属涂层厚度为5-15μm。
8.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,包括以下步骤:
第一步,对锆合金基体的样品表面进行预处理,预处理包括打磨、抛光以及超声清洗,使得样品表面呈镜面且光洁;
第二步,将预处理后的样品在氮气环境中进行激光表面喷丸处理以生成ZrN扩散屏蔽层,将样品夹持在样品架上,启动脉冲激光器,加载电压,脉冲激光经透镜对样品表面喷丸处理;激光能量600mJ,波长为532nm,重复频率10Hz,脉冲宽度8nm,扫描速度5mm/s,光斑直径4mm,所用气氛为纯氮气;
第三步,将激光表面喷丸处理后的样品冷却至室温,得到锆合金表面纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层;
由于在第二步激光处理过程中,生成的ZrN会受到激光的冲击作用,在冲击应力的作用下ZrN内会生成纳米孪晶结构;此外在第三步激光表面喷丸处理后,样品表面温度迅速从高温降低到室温,在该过程中的热应力作用也有利于ZrN内纳米孪晶结构的生成,最终生成纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层;
第四步,在样品纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层外侧喷涂Cr金属涂层,喷涂方法为磁控溅射,Cr金属涂层厚度为10μm;最终得到锆合金基体外依次设有纳米孪晶ZrN扩散屏蔽层、Cr金属涂层。
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