[发明专利]一种窄带滤波成像光谱仪在审
申请号: | 202211037649.1 | 申请日: | 2022-08-25 |
公开(公告)号: | CN115468653A | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 童超;邢立娜;朱宁 | 申请(专利权)人: | 安徽创谱仪器科技有限公司 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/02 |
代理公司: | 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594 | 代理人: | 孔凡梅 |
地址: | 230031 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 窄带 滤波 成像 光谱仪 | ||
本发明涉及一种窄带滤波成像光谱仪,滤波成像光谱仪包括装置底板,装置底板上设有装置外罩,所述滤波成像光谱仪还包括滤波片组件、分光元件和掩膜板组件;所述滤波片组件、分光元件和掩膜板组件均安装在装置底板上,掩膜板组件上设有掩膜板和调节组件,掩膜板安装在调节组件上,掩膜板的表面部分区域镀膜。本发明中掩膜板上的狭缝可设置为直线型或者弯曲型,且狭缝可以设置为多个,以实现多通道的滤波效果;本发明设有多处调节机构,便于将各个部件调整至合适位置,提升了光谱仪的调校效率,保证光谱仪的滤波精度;本发明利用遮光胶带、其它遮光器材以及装置外罩,将光路完全置于黑暗环境中,避免外部干扰光进入影响滤波效果。
技术领域
本发明属于光学滤波设备技术领域,特别涉及一种窄带滤波成像光谱仪。
背景技术
光谱仪的窄带滤波是指针对特定宽度的光谱信号进行滤除,使其无法通过光谱仪器。在可见光及短波红外波段,滤波通常使用滤波片来实现,常见的滤波片对光的截止波段范围比较大。比如常见的有色玻璃滤光片,为仅让特定颜色的光透过,其余波段的可见光被截止,现有的窄带通滤波片其带宽范围为4-20nm,无法实现极窄宽度的滤波。
针对一些特殊的需求,需要进行极窄带宽内的光谱滤波,如托卡马克装置中的中性束Dα可见光谱(656.1nm),主要测量直接电荷复合交换(DCX)和光晕(halo)等过程导致的Dα谱线展宽,从而直接获得当地等离子体的离子温度。由于被探测的等离子体在656.1nm存在明显的发射谱线,该谱线强度很高,进入探测系统后会影响其动态范围,干扰临近波长微弱信号的探测。须在光谱仪成像面上设置空间滤膜对656.1±0.1nm的干扰光进行滤除,而传统的窄带滤波片无法实现该量级的光谱滤波。
综上所述,现有的光谱仪器无法实现仅滤除一个小波段范围的光谱(比如±0.1nm),且不影响其他波长的光透过。本发明基于一种光谱成像的方式,利用二次成像直接对光谱信号进行滤除,可以实现极窄带波长的滤波,同时不影响谱仪的其它性能。
发明内容
针对上述问题,本发明公开了一种窄带滤波成像光谱仪,滤波成像光谱仪包括装置底板,装置底板上设有可拆卸的装置外罩,所述滤波成像光谱仪还包括滤波片组件、分光元件和掩膜板组件;
所述滤波片组件、分光元件和掩膜板组件均安装在装置底板上,掩膜板组件上设有掩膜板和调节组件,掩膜板安装在调节组件上,调节组件用于在五个维度上调节掩膜板的空间位置,掩膜板的表面部分区域镀膜。
优选的,所述调节组件包括Z轴调整顶丝、X轴调整顶丝、Y轴调整顶丝和Y轴调整螺栓,X轴调整顶丝设置在调节组件的两侧,Z轴调整顶丝位于调节组件的上下两端端部,Y轴调整顶丝和Y轴调整螺栓设置在调节组件的端面上,X轴调整顶丝设置为两个,Z轴调整顶丝设置为三个,Y轴调整螺栓设置为三个,Y轴调整顶丝设置为两个。
优选的,所述滤波成像光谱仪还包括狭缝组件、第一镜组、滤波片组件、分光元件、第二镜组、掩膜板组件、第三镜组、第四镜组和探测组件,第一镜组位于狭缝组件的一侧,滤波片组件位于第一镜组的一侧,分光元件位于滤波片组件的一侧,第二镜组位于分光元件的一侧,第二镜组设置在经分光元件分光后的光路上,掩膜板组件位于第二镜组的一侧,第三镜组位于掩膜板组件的一侧,第四镜组位于第三镜组的一侧,探测组件位于第四镜组的一侧。
优选的,所述滤波成像光谱仪还包括位移台,位移台安装在装置底板上,位移台包括位移台座,位移台座上对称设有滑轨,滑轨上设有入射光纤组件,入射光纤组件与滑轨滑动配合,入射光纤组件位于装置外罩一端面的一侧,装置底板上还设有探测组件,探测组件位于装置外罩另一端面的一侧,位移台座上还设有电动伸缩杆,电动伸缩杆的伸缩端与入射光纤组件连接。
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