[发明专利]一种用于生产高密度ITO靶材的挤出成型方法

权利要求书

1.一种用于生产高密度ITO靶材的挤出成型方法，其特征在于：包括以下步骤：

⑴将比表面积7～25m²/g的ITO粉，按质量固含量35%～50%与水混合，然后加入占粉体重量0.5～2%的分散剂，在球磨机中研磨1～5小时后，再加入粉体重量0.5～2%的聚乙烯醇，继续研磨1～2小时，得到分散良好的ITO浆料；

⑵将所得浆料，通过压滤或抽滤的方式，去除部分水分以及水分中附带的添加剂，过滤后形成滤饼，滤饼含水量控制在15～10%；如水分过高，可进行烘干，至水分处于所要求的范围；

⑶取粉体重量0.5～1.5%的琼脂糖，溶于粉体重量5～10%的水中，水温80～95℃；

⑷将步骤（2）所得滤饼加热至80～90℃，然后将步骤（3）所得琼脂糖溶液加入其中，搅拌混练10～60分钟，混练过程中，物料温度保持在80～90℃，物料水分在过程中会有蒸发，水分控制在15～20%之间，如水分蒸发过多，可加水；

⑸将步骤（4）所得物料，冷却至20～40℃，然后静置2～24小时，使其凝固；

⑹将步骤（5）所得物料，真空练泥1～4小时后，用挤出成型机挤出成型得到坯体，挤出压力1-4MPa；

⑺将所得坯体干燥脱脂后在氧气气氛中，1560～1620℃烧结6-15小时，可得相对密度大于等于99.7%的ITO靶材。

2.根据权利要求1所述的一种用于生产高密度ITO靶材的挤出成型方法，其特征在于：步骤⑹中用挤出成型机挤出的是片状或管状等横截面相同的坯体。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于生产高密度ITO靶材的挤出成型方法，其特征在于：所述分散剂是聚丙烯酰胺。