[发明专利]一种基于FTO/TiO2在审

专利信息
申请号: 202211039175.4 申请日: 2022-08-29
公开(公告)号: CN115472745A 公开(公告)日: 2022-12-13
发明(设计)人: 阮圣平;张宇鹏;翟艳男;刘彩霞;周敬然;李昕;马艳 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: H01L51/42 分类号: H01L51/42;H01L51/48;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 代理人: 刘世纯;王恩远
地址: 130012 吉林省长春市*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 fto tio base sub
【权利要求书】:

1.一种基于FTO/TiO2:PEO/MAPbCl3异质结的紫外探测器,其特征在于:从下到上由FTO衬底(1)、在FTO上生长的TiO2一维纳米棒阵列薄膜(2)、在TiO2纳米棒阵列薄膜上旋涂的PEO界面修饰层(3)、在PEO界面修饰层上旋涂的多晶钙钛矿MAPbCl3薄膜(4)、在多晶钙钛矿MAPbCl3薄膜上制备的Ag电极(5)组成,TiO2一维纳米棒阵列薄膜(2)、PEO界面修饰层(3)和多晶钙钛矿MAPbCl3薄膜(4)构成TiO2:PEO/MAPbCl3异质结光敏感层,待测的紫外光从FTO衬底(1)一侧入射。

2.如权利要求1所述的一种基于FTO/TiO2:PEO/MAPbCl3异质结的紫外探测器,其特征在于:FTO衬底(1)的厚度为2~3mm,TiO2一维纳米棒阵列薄膜(2)的厚度为2~3μm,PEO界面修饰层(3)的厚度为20~30nm,多晶钙钛矿MAPbCl3薄膜(4)的厚度为300~500nm,Ag电极的厚度为1~3mm。

3.权利要求1或2所述的一种基于FTO/TiO2:PEO/MAPbCl3异质结的紫外探测器的制备,其步骤如下:

(1)衬底的处理

将FTO衬底依次浸入丙酮、乙醇、去离子水中超声处理10~20分钟,然后用氮气吹干,再将衬底置于紫外臭氧环境中处理10~20分钟,从而得到清洁的衬底;

(2)制备TiO2一维纳米棒阵列薄膜

室温下,向反应釜中加入8~15mL甲苯,量取0.5~1.5mL钛酸四丁酯逐滴滴入,同时振荡反应釜使钛酸四丁酯分散在甲苯中;量取0.1~0.3mL四氯化钛缓慢加入上述溶液的液面之下以防止四氯化钛挥发,并使其均匀分散;再量取0.5~1.5mL、质量分数36~38%的盐酸,逐滴滴入上述溶液中;将步骤(1)清洁后的衬底的FTO面朝下倾斜放入反应釜之中,浸入溶液液面之下,并使其固定,密封反应釜,在150~200℃下水热反应4~8小时,自然降至室温后取出衬底,在室温下空气中自然风干,从而在FTO表面得到2~3μm厚的TiO2一维纳米棒阵列薄膜;

(3)PEO对TiO2一维纳米棒阵列薄膜的界面修饰

将步骤(2)得到的器件于紫外臭氧中照射10~30分钟,对TiO2一维纳米棒阵列薄膜表面进行羟基化处理;量取0.02~0.12g的PEO溶于10~50mL去离子水中,超声至完全溶解;在羟基化处理后的TiO2一维纳米棒阵列薄膜表面旋涂PEO溶液;然后于80~100℃条件下烘干5~10分钟,再将FTO衬底冷却至室温,从而在TiO2一维纳米棒阵列薄膜表面得到20~30nm厚的PEO界面修饰层;

(4)MAPbCl3前驱体溶液的制备

室温下,分别量取0.5~2mL DMSO(二甲基亚砜)和0.5~2mL DMF(N,N-二甲基甲酰胺)混合,称取0.1~0.2g的MACl(甲胺氯)加入其中并搅拌10~30分钟;然后再称取0.4~0.6gPbCl2(氯化铅)加入其中并搅拌20~40分钟,至溶液彻底变为透明,得到MAPbCl3前驱体溶液;

(5)TiO2:PEO/MAPbCl3异质结的制备

在PEO界面修饰层的表面旋涂MAPbCl3前驱体溶液并形成300~500nm厚的多晶钙钛矿MAPbCl3薄膜;之后降低转速,并立即将一滴甲苯(40~50μL)作为抗溶剂旋涂在多晶钙钛矿MAPbCl3薄膜上,烘干后将衬底冷却至室温,从而在FTO衬底表面得到TiO2:PEO/MAPbCl3异质结;

(6)制备Ag电极

分别在FTO和多晶钙钛矿MAPbCl3层上滴Ag导电胶作为电极,干燥后得到基于FTO/TiO2:PEO/MAPbCl3异质结的紫外探测器。

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