[发明专利]泛半导体设备用密封条安装治具

说明书

本说明书实施例提供一种泛半导体设备用密封条安装治具，包括由聚四氟乙烯材料制成的手柄、引导滚轮和平整滚轮；手柄用于操作人员握持；引导滚轮通过第一安装轴活动安装于手柄的第一端，引导滚轮的表面设置有凹槽，凹槽的截面形状与待安装的密封条的截面形状相适配；平整滚轮通过第二安装轴活动安装于手柄的第二端，平整滚轮为圆柱形。在安装密封条时，推动两个滚轮在待安装密封条的半导体设备的表面滚动，引导滚轮引导密封条进入安装沟槽中，然后由平整滚轮将密封条平整的压入沟槽，操作简单，加快安装速度，提高安装平整度，并且能够满足半导体生产的洁净度要求，不产生静电或粉尘，不损伤半导体设备。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种泛半导体设备用密封条安装治具。

背景技术

在泛半导体设备的制程过程中，需要为某些部件提供密封。在密封部件安装时，如将密封条或密封圈安装进安装沟槽时，操作人员普遍使用手工安装的方式，凭借手感将密封条或密封圈按压进沟槽中，安装的平整度和速度依赖操作人员的经验，统一性差；在安装宽度较大或长度较长的密封条或密封圈时，需要多名操作人员同时操作，平整度很难保证，安装时间长。

发明内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种泛半导体设备用密封条安装治具，便于操作，通用性好，能够提高密封条安装的平整度，加快安装速度。

本说明书实施例提供以下技术方案：

一种泛半导体设备用密封条安装治具，包括由聚四氟乙烯材料制成的手柄、引导滚轮和平整滚轮；

所述手柄用于操作人员握持；

所述引导滚轮通过第一安装轴活动安装于所述手柄的第一端，所述引导滚轮的表面设置有凹槽，所述凹槽的截面形状与待安装的密封条的截面形状相适配；

所述平整滚轮通过第二安装轴活动安装于所述手柄的第二端，所述平整滚轮为圆柱形。

在上述方案中，在一个手柄上活动安装两个滚轮，操作人员通过手柄推动两个滚轮在待安装密封条的半导体设备的表面沿引导滚轮所在方向滚动，在推动过程中，引导滚轮上的凹槽引导密封条进入安装沟槽中，然后由平整滚轮将密封条平整的压入沟槽，从而方便完成安装密封条的操作，加快安装速度，提高密封条安装的平整度。

本发明还提供一种方案，所述引导滚轮和所述平整滚轮的直径相同。

本发明还提供一种方案，所述引导滚轮和所述平整滚轮的直径均为35mm。

本发明还提供一种方案，所述第一安装轴和所述第二安装轴由不锈钢材料制成。

本发明还提供一种方案，所述手柄的形状包括C形或U形。

本发明还提供一种方案，所述手柄的水平宽度为18mm。

本发明还提供一种方案，所述引导滚轮的宽度为10mm。

本发明还提供一种方案，所述凹槽的截面形状包括圆弧形。

本发明还提供一种方案，所述凹槽的深度为0.77mm，所述凹槽的圆弧半径为1.76mm。

本发明还提供一种方案，所述手柄、所述引导滚轮和所述平整滚轮的边缘位置均设置有倒角。

与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：本发明提供的泛半导体设备用密封条安装治具，操作简单，降低密封条的安装难度，单人即可完成密封条的安装，节省安装时间；通用性好，适用各种截面形状的密封条，不同的操作人员都能将密封条正确的、平整的安装进半导体设备的安装槽中，保证安装效果；采用聚四氟乙烯制成接触半导体设备的部件，能够满足半导体生产的洁净度要求，不产生静电或粉尘，不损伤半导体设备。

附图说明