[发明专利]激光加工方法、激光加工装置、以及太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种激光加工方法，对于具有第一层和所述第一层上的第二层的层叠体，选择性地加工所述第二层，所述激光加工方法包括：

(a)向所述第二层照射具有第一聚光直径的第一激光，在所述第二层形成第一槽的步骤；

(b)向所述第一槽的内部的、所述第一槽的中央的两侧分别照射具有比第一聚光直径小的第二聚光直径的第二激光，在所述第二层形成第二槽的步骤；以及

(c)向所述第二槽的内部照射具有比所述第二聚光直径大的第三聚光直径的第三激光，在所述第二层形成第三槽的步骤。

2.根据权利要求1所述的激光加工方法，其中，

所述第一聚光直径是所述第二聚光直径的2倍以上。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工方法，其中，

所述第一激光的激光输出比多个所述第二激光的激光输出的合计大2倍以上。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工方法，其中，

所述第三槽的宽度为5μm以上且200μm以下。

5.根据权利要求1或2所述的激光加工方法，其中，

所述第二层是选自金属、金属氧化物、硅、碳化硅、氮化镓、磷化铟之中的一种材料或组合。

6.一种太阳能电池的制造方法，所述太阳能电池具有第一电极层、第二电极层、以及配置在所述第一电极层和所述第二电极层之间的光电转换层，所述太阳能电池的制造方法包括：

(1)准备层叠有所述第一电极层、所述光电转换层、所述第二电极层的层叠体的步骤；

(2)通过激光加工在所述层叠体形成槽的步骤；

所述步骤(2)包括：

(a)向所述光电转换层照射具有第一聚光直径的第一激光，在所述光电转换层形成第一槽的步骤；

(b)向所述第一槽的内部的、所述第一槽的中央的两侧分别照射具有比第一聚光直径小的第二聚光直径的第二激光，在所述光电转换层形成第二槽的步骤；以及

(c)向所述第二槽的内部照射具有比所述第二聚光直径大的第三聚光直径的第三激光，在所述光电转换层形成第三槽的步骤。

7.一种激光加工装置，其具有：

激光发生部，其产生激光；

传输光学系统，其使所述激光发生部产生的激光对试样扫描并照射；

试样设置部，其以能够驱动的方式配置所述试样；以及

控制部，其控制所述试样设置部，

所述试样是具有第一层和所述第一层上的第二层的层叠体，

所述控制部执行如下工序：

(a)向所述第二层照射具有第一聚光直径的第一激光，在所述第二层形成第一槽；

(b)向所述第一槽的内部的、所述第一槽的中央的两侧分别照射具有比第一聚光直径小的第二聚光直径的第二激光，在所述第二层形成第二槽；

(c)向所述第二槽的内部照射具有比所述第二聚光直径大的第三聚光直径的第三激光，在所述第二层形成第三槽。