[发明专利]热透镜效应检测方法和检测装置

权利要求书

1.一种热透镜效应检测方法，其特征在于，包括：

利用迈克尔逊干涉方法设置检验光路,使检验光路经过检测待测窗口片后形成等倾干涉的圆环形条纹,

使测试光路穿过待测窗口片,且测试光路与待测窗口片垂直,

通过计算等倾干涉的圆环形条纹的变化量确定待测窗口片的改变量。

2.根据权利要求1所述的热透镜效应检测方法，其特征在于，所述测试光路为高功率激光光路。

3.根据权利要求1所述的热透镜效应检测方法，其特征在于，

所述检验光路通过以下元器件形成：

在第一设置方向上依次设置有检验用激光光源、光源孔阑、第一聚光镜、高精度平行平板和第一平面反射镜，所述第一聚光镜与第一设置方向垂直，所述高精度平行平板与第一设置方向呈45度夹角，所述第一平面反射镜与第一设置方向垂直，

在第二设置方向上依次设置有第二平面反射镜、第二聚光镜以及测量屏,

所述第一设置方向与第二设置方向相互垂直相交，且所述高精度平行平板也位于第二设置方向上，且所述高精度平行平板位于第二聚光镜和测量屏之间，

所述待测窗口片设置在第一设置方向上，且待测窗口片与高精度平行平板平行设置，所述待测窗口片位于第一平面反射镜和高精度平行平板之间。

4.根据权利要求3所述的热透镜效应检测方法，其特征在于，所述测试光路通过以下元器件形成：

在第三设置方向上依次设置有测试用激光光源、准直镜组、聚焦镜组和激光吸收池，所述准直镜组与第三设置方向垂直，所述聚焦镜组与第三设置方向垂直，

所述第三设置方向与第一设置方向的夹角为45度，所述待测窗口片也位于第三设置方向上并与第三设置方向垂直，且待测窗口片位于准直镜组和聚焦镜组之间。

5.根据权利要求4所述的热透镜效应检测方法，其特征在于，所述测试用激光光源为高功率激光光源。

6.一种热透镜效应检测装置，其特征在于，

在第一设置方向上依次设置有检验用激光光源、光源孔阑、第一聚光镜、高精度平行平板和第一平面反射镜，所述第一聚光镜与第一设置方向垂直，所述高精度平行平板与第一设置方向呈45度夹角，所述第一平面反射镜与第一设置方向垂直，

在第二设置方向上依次设置有第二平面反射镜、第二聚光镜以及测量屏,

所述第一设置方向与第二设置方向相互垂直相交，且所述高精度平行平板也位于第二设置方向上，且所述高精度平行平板位于第二聚光镜和测量屏之间，

检测时，待测窗口片设置在第一设置方向上，所述待测窗口片位于第一平面反射镜和高精度平行平板之间，且待测窗口片与高精度平行平板平行设置，

在第三设置方向上依次设置有测试用激光光源、准直镜组、聚焦镜组和激光吸收池，所述准直镜组与第三设置方向垂直，所述聚焦镜组与第三设置方向垂直，

所述第三设置方向与第一设置方向的夹角为45度，检测时，所述待测窗口片也位于第三设置方向上并与第三设置方向垂直，且待测窗口片位于准直镜组和聚焦镜组之间。