[发明专利]一种应用于气相沉积设备的压力调控装置及其方法

权利要求书

1.一种应用于气相沉积设备的压力调控装置，其特征在于，包括主进气调压管路、负载进气调压管路、主路阀门、旁路调节阀和真空计，沉积炉的进气口连接主进气调压管路，沉积炉的出气口通过主路阀门连接真空泵组，旁路调节阀连接所述主路阀门的两侧，负载进气调压管路连接所述主路阀门的进气口，所述主进气调压管路和负载进气调压管路均连接工艺进气端，沉积炉设有测量沉积炉内气压的真空计。

2.根据权利要求1所述的应用于气相沉积设备的压力调控装置，其特征在于，所述主进气调压管路包括质量流量计一、体积流量计一和阀门一，所述主进气调压管路的进气端通过阀门三连接工艺进气端。

3.根据权利要求2所述的应用于气相沉积设备的压力调控装置，其特征在于，所述负载进气调压管路包括质量流量计二、体积流量计二和阀门二，所述负载进气调压管路的进气端通过阀门三连接工艺进气端。

4.根据权利要求3所述的应用于气相沉积设备的压力调控装置，其特征在于，所述主路阀门采用气动阀，所述旁路调节阀采用电动调节阀，所述阀门一、阀门二、阀门三均采用气动阀。

5.根据权利要求4所述的应用于气相沉积设备的压力调控装置，其特征在于，所述工艺进气端的进气管路上还设有过滤器。

6.一种根据权利要求1-5任一项所述的应用于气相沉积设备的压力调控装置的压力调控方法，其特征在于，监测真空计得到的沉积炉内气压，△P＝炉内压力-目标压力，P1P2P30Pa，根据气压差△P进行如下调节：

当△P≥P1时，打开主路阀门，旁路调节阀则保持一个恒定的开度；

当P3＜△P＜P2时，关闭主路阀门，通过旁路调节阀自动调节；

当0Pa≤△P≤P3时，关闭主路阀门，对旁路调节阀限定一个调节范围(OPL，OPH)，使其在此范围内调节；

当△P＜0Pa时，自动设定旁路调节阀开度到OPL位置，打开阀门一，通过主进气调压管路往炉内通气，使△P＝0时关闭进气调压管路。

7.根据权利要求6所述的应用于气相沉积设备的压力调控方法，其特征在于，所述使△P＝0时关闭进气调压管路后，若△P仍有变负趋势，则打开阀门二，开启负载进气调压管路，降低真空泵组的抽气能力，使△P＝0。

8.根据权利要求6所述的应用于气相沉积设备的压力调控方法，其特征在于，所述压力调控方法还包括：在初始真空阶段，关闭阀门三、阀门一和阀门二，关闭主路阀门，打开旁路调节阀，根据炉压变化逐步调整所述旁路调节阀的开度；当炉压达到允许开主路阀门时，打开主路阀门，将所述旁路调节阀调节到一个开度不变。

9.根据权利要求6所述的应用于气相沉积设备的压力调控方法，其特征在于，P1＝300Pa，P2＝200Pa，P3＝100Pa。

10.一种气相沉积设备，其特征在于，包括根据权利要求1-5任一项所述的应用于气相沉积设备的压力调控装置。