[发明专利]一种上电极搭头处理电路、开盖机构及半导体设备

权利要求书

1.一种上电极搭头处理电路，应用于半导体设备，所述半导体设备包括上电极、反应腔及开盖机构；所述开盖机构包括用于带动所述上电极上升或下降的驱动装置，其特征在于，所述上电极搭头处理电路包括：

第一控制开关，串接于第一供电支路与所述驱动装置之间，当所述第一控制开关闭合时，所述第一供电支路向所述驱动装置供电；

搭头检测电路，用于控制所述第一控制开关的通断，所述搭头检测电路在检测到所述上电极发生搭头现象时，控制所述第一控制开关闭合，以使所述第一供电支路向所述驱动装置供电，所述驱动装置带动所述上电极下降，使所述上电极回落到所述反应腔上。

2.如权利要求1所述的上电极搭头处理电路，其特征在于，所述第一控制开关为第一电磁继电器；所述第一电磁继电器包括：

第一线圈，与所述搭头检测电路连接；

第一常开开关，串接于所述第一供电支路与所述驱动装置之间，当所述第一常开开关闭合时，所述第一供电支路向所述驱动装置供电；

所述搭头检测电路具体用于在检测到所述上电极发生搭头现象时，使所述第一线圈通电以吸合所述第一常开开关。

3.如权利要求2所述的上电极搭头处理电路，其特征在于，所述搭头检测电路包括：

常开行程开关，设于所述开盖机构上、与所述上电极相对的侧面；所述常开行程开关在所述上电极未发生搭头现象时，与所述上电极不接触保持断开；在所述上电极发生搭头现象时，受所述上电极压缩闭合；

常闭行程开关，设于所述反应腔的上表面；所述常闭行程开关在所述半导体设备未开盖时，受所述上电极压缩断开；在所述半导体设备开盖时，脱离所述上电极闭合；

其中，所述常开行程开关和所述常闭行程开关均串接于所述第一线圈的供电支路上，所述第一线圈在所述常开行程开关和所述常闭行程开关均闭合时实现通电。

4.如权利要求3所述的上电极搭头处理电路，其特征在于，所述上电极搭头处理电路还包括报警器；所述第一电磁继电器还包括：

第二常开开关，串接于所述报警器的供电支路上，所述第一线圈在通电时吸合所述第二常开开关，使所述报警器上电报警。

5.如权利要求4所述的上电极搭头处理电路，其特征在于，所述第二常开开关和所述报警器构成的串联支路与所述常开行程开关并联、与所述常闭行程开关串联。

6.一种开盖机构，应用于半导体设备，所述半导体设备包括上电极和反应腔，其特征在于，所述开盖机构包括：

驱动装置，用于带动所述上电极上升或下降；

如权利要求1-5任一项所述的上电极搭头处理电路；

第二控制开关，串接于第二供电支路与所述驱动装置之间，当所述第二控制开关闭合时，所述第二供电支路向所述驱动装置供电，所述驱动装置带动所述上电极上升；

启动开关，用于控制所述第一控制开关和所述第二控制开关的通断，当所述启动开关使所述第一控制开关断开且所述第二控制开关闭合时，所述第二供电支路向所述驱动装置供电，所述驱动装置带动所述上电极上升，以使所述上电极与所述反应腔分开；当所述启动开关使所述第一控制开关闭合且所述第二控制开关断开时，所述第一供电支路向所述驱动装置供电，以使所述上电极回落到所述反应腔上。

7.如权利要求6所述的开盖机构，其特征在于，所述驱动装置为三相电机；所述第一供电支路向所述三相电机供电时用于使所述三相电机在第一方向上旋转，以带动所述上电极下降；所述第二供电支路向所述三相电机供电时用于使所述三相电机在第二方向上旋转，以带动所述上电极上升。

8.如权利要求7所述的开盖机构，其特征在于，所述第一供电支路和所述第二供电支路分别用于使所述三相电机的三相接线端分别与三相供电电源的三根火线连接；

所述第一供电支路和所述第二供电支路的三相接线方式中的任意两相是互为调换的。