[发明专利]一种提升石英谐振子Q值的表面处理方法有效
| 申请号： | 202211059669.9 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115138632B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 王妍妍;赵坤;韩鹏宇;田纪遨;韦路锋;丛正;赵丙权 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王艳斋 |
| 地址： | 300131 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提升 石英 谐振子 表面 处理 方法 | ||
1.一种提升石英谐振子Q值的表面处理方法，其特征在于，所述表面处理方法包括如下步骤：
（1）加工成型后的石英谐振子经SPM溶液清洗，去除表面有机污染物和金属污染物；所述SPM溶液为硫酸溶液和过氧化氢溶液的混合溶液；
（2）步骤（1）清洗后的石英谐振子经BHF溶液清洗，腐蚀石英谐振子的表面；所述BHF溶液为含有氢氟酸的溶液；所述BHF溶液包括氢氟酸溶液和氟化铵溶液的混合液或氢氟酸溶液和乙酸溶液的混合液；所述BHF溶液中氢氟酸溶液和氟化铵溶液的体积比为1:16~1:1；所述BHF溶液中氢氟酸溶液和乙酸溶液的体积比1:10~1:1；
所述BHF溶液中还加入表面活性剂；所述表面活性剂的添加量占所述BHF溶液体积的0.5‰~5%；
（3）步骤（2）清洗后的石英谐振子依次经硫酸清洗和臭氧水清洗后，进行干燥，完成表面处理过程。
2.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（1）所述SPM溶液中硫酸溶液和过氧化氢溶液的体积比为2:1~8:1；
所述SPM溶液清洗的温度为80℃~120℃。
3.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（1）所述SPM溶液清洗后进行第一纯水漂洗。
4.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（2）所述BHF溶液清洗的温度为40℃~80℃。
5.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（2）所述BHF溶液清洗后进行第二纯水漂洗；
所述第二纯水漂洗所用的纯水的温度为50℃~80℃；
所述第二纯水漂洗所用的纯水的压力为0.3MPa~1MPa。
6.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（3）所述硫酸清洗中的硫酸的浓度为96%~98%。
7.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（3）所述臭氧水清洗所用的臭氧水的浓度为1ng/L~1g/L。
8.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（3）所述干燥包括异丙醇慢拉干燥；
所述干燥的温度为25℃~120℃。
9.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，所述表面处理方法包括如下步骤：
（1）加工成型后的石英谐振子经温度为80℃~120℃的SPM溶液清洗，去除表面有机污染物和金属污染物；所述SPM溶液为体积比为2:1~8:1的硫酸溶液和过氧化氢溶液的混合溶液；
所述SPM溶液清洗后进行第一纯水漂洗；
（2）步骤（1）清洗后的石英谐振子经温度为40℃~80℃的BHF溶液清洗，腐蚀石英谐振子的表面；所述BHF溶液为含有氢氟酸的溶液；所述BHF溶液包括氢氟酸溶液和氟化铵溶液的混合液或氢氟酸溶液和乙酸溶液的混合液；所述BHF溶液中氢氟酸溶液和氟化铵溶液的体积比为1:16~1:1；所述BHF溶液中氢氟酸溶液和乙酸溶液的体积比1:10~1:1；
所述BHF溶液中还加入占BHF溶液体积的0.5‰~5%的表面活性剂；
所述BHF溶液清洗后进第二纯水漂洗；所述第二纯水漂洗所用的纯水的温度为50℃~80℃，压力为0.3MPa~1MPa；
（3）步骤（2）清洗后的石英谐振子依次经浓度为96%~98%的硫酸清洗和浓度为1ng/L~1g/L的臭氧水清洗后，进行温度为25℃~120℃的异丙醇慢拉干燥，完成表面处理过程。
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