[发明专利]一种异形多适用性无铅复合钎料及制备方法有效
申请号: | 202211062172.2 | 申请日: | 2022-09-01 |
公开(公告)号: | CN115411007B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 岳武 | 申请(专利权)人: | 兰州工业学院 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/48 |
代理公司: | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人: | 陆华 |
地址: | 730050 甘肃*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 异形 适用性 复合 料及 制备 方法 | ||
1.一种异形多适用性无铅复合钎料,包括无铅复合钎料本体,其特征在于,所述无铅复合钎料本体包括有异形基体(2)、第一连接面(1)和第二连接面(3),且无铅复合钎料本体由异形基体(2)、第一连接面(1)和第二连接面(3)上的钎料合金薄膜构成,所述第一连接面(1)和第二连接面(3)之间的空间位向和尺寸依据所要连接的芯片上焊盘结构而确定,在空间坐标系中,所述无铅复合钎料本体的两个连接面所决定的对应坐标轴ox与o’x’、oy与o’y’、oz与o’z’之间的夹角α、β、γ根据所要连接芯片上的凸点结构确定,其值分别在0~2π、0~π、0~π之间调整,所述第一连接面(1)和第二连接面(3)两个连接面的中心连线在基准坐标系中的投影,即距离a、b、c根据连接芯片上的凸点结构和尺寸而决定,大小在数微米至几百微米之间变化。
2.根据权利要求1所述的一种异形多适用性无铅复合钎料,其特征在于,所述第一连接面(1)和第二连接面(3)两个连接面的形状为圆形、矩形或圆形和矩形结合后的复合形状中任意一种,或者是它们之间的任意组合;所述第一连接面(1)和第二连接面(3)两个连接面之间的形状随加工后的掩膜形状而定。
3.根据权利要求1所述的一种异形多适用性无铅复合钎料,其特征在于,所述第一连接面(1)和第二连接面(3)表面上的钎料合金厚度在1~6μm之间。
4.根据权利要求1所述的一种异形多适用性无铅复合钎料,其特征在于,所述无铅复合钎料本体的基体形状由所要连接的芯片结构而定,其材质为易导电、导热材料,成型时借助于掩膜并利用喷溅或电镀的方法制备。
5.根据权利要求4所述的一种异形多适用性无铅复合钎料,其特征在于,所述无铅复合钎料本体的基体材质为纯铜,所述无铅复合钎料本体与第一连接面(1)和第二连接面(3)之间的夹角关系为:当α=90°、β=0°、γ=90°时,该无铅复合钎料本体的横截面为直角三角形,而当α=β=0°、γ=180°时,则构成横截面为线性或锥形的复合钎料。
6.一种异形多适用性无铅复合钎料的制备方法,应用于权利要求1-5任一所述的一种异形多适用性无铅复合钎料,其特征在于,主要包括以下步骤:
S1:钎料合金薄膜制备:将底模放置于平板上,并将第一掩膜装配于底模上,利用喷溅或电镀方法制备钎料合金薄膜,合金薄膜厚度控制在1~6μm之间;
S2:异形基体制备:去掉第一掩膜,将第二掩膜装配于底模上,利用喷溅或电镀方法制备异形铜基体,基体的尺寸和形状随掩膜而定;
S3:钎料合金薄膜制备将上模安装于第二掩膜上,再次利用喷溅或电镀方法在另一连接面上制备厚度为1~6μm的钎料合金薄膜;
S4:翻转去掉上模,并将底模、第二掩膜和复合钎料共同翻转后放置于平板上;
S5:保温、脱模在钎料熔点以上3~5°C保温10~30s,依次去掉底模和第二掩膜形成前述的异形多适用性复合钎料。
7.根据权利要求6所述的一种异形多适用性无铅复合钎料的制备方法,其特征在于,所述异形多适用性复合钎料需在钎料合金熔点以上3~5°C保温10~30s,所形成的界面金属间化合物厚度不超过钎料层厚度的1/4。
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