[发明专利]可旋转波纹管装置

说明书

本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种可旋转波纹管装置，波纹管本体为非金属材质通过一体机械加工方式制造而成，自身具有拉伸压缩功能，两端分别与回转法兰一体成型组合成整体，实现一体回旋功能。本装置可以同时实现旋转和升降运动防护的功能。

技术领域

本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种可旋转波纹管装置。

背景技术

在半导体湿制程工艺设备中，存在某些特定环境例如化学腐蚀环境，在此种环境下运动机构金属材质需要避免被化学介质腐蚀失效；同时为了避免占用过多的空间，需要一种密封有效且同时满足升降旋转运动的防护装置。

现有技术一：采用交叉伸缩套筒+静密封密封件(密封圈、密封垫片等)。缺点是交叉伸缩部分占据很大高度空间，例如占用空间≥2倍伸缩行程；

现有技术二：采用普通波纹管+静密封密封件(密封圈、密封垫片等)；该结构能满足升降运动防护，但是无法做到兼容旋转运动。

发明内容

本发明为了有效的解决上述背景技术中的问题，提出了一种可旋转波纹管装置。

具体技术方案如下：

一种可旋转波纹管装置，波纹管本体为非金属材质通过一体机械加工方式制造而成，自身具有拉伸压缩功能，两端分别与回转法兰一体成型组合成整体，实现一体回旋功能。

优选地，所述回转法兰分为第一回转法兰和第二回转法兰，所述第一法兰与运动装置安装，第二法兰用于固定于安装基座。

优选地，所述第二回转法兰包括由非金属材料制成的第一回转体、第二回转体和第三回转体，第一回转体的一侧与所述波纹管本体的一端一体成型，第一回转体另一侧向外伸出形成凸台结构，第三回转台套在凸台结构上并被第二回转体限位，第一回转体的内圈带有螺纹，第二回转体深入到第一回转体的内圈并与其螺纹连接。

优选地，所述第三回转体上设有沉头孔，用于螺栓与基座或底座固定使用。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本装置利用一个非金属材质通过机械加工制作出来，可以同时实现旋转和升降运动防护的功能，占用空间小，寿命长。

附图说明

图1是本发明的主视图；

图2是发明的右视图；

图3是本发明的左视图；

图4是本发明的极限压缩状态图；

图5是本发明的极限拉伸状态图；

图6是本发明的立体图；

图7是本发明中第二回转体的剖视图。

具体实施方式

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位旋转90度或处于其他方位，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

下面结合附图及较佳实施例详细说明本发明的具体实施方式。