[发明专利]多层喷淋装置

说明书

本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种多层喷淋装置，包括至少一层外层非金属管材、至少一层中间层金属管材和至少一层内层非金属管材，其中，外层非金属管材、中间层金属管材和内层非金属管材依次同心套装在一起。本装置既耐化学药品腐蚀又能具有很好的刚性，通过最外层非金属管材实现耐化学药品腐蚀功能，通过中间层金属管材实现喷淋装置具有足够的刚性，通过最内层非金属管材实现化学药品的承载。

技术领域

本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种多层喷淋装置。

背景技术

在半导体湿制程中常常使用很多化学药品，而某些化学药品具有强腐蚀性与挥发性；在半导体湿制程设备中常常需要将工艺介质喷淋至基板，如何使喷淋装置既耐化学药品腐蚀又能具有很好的刚性以及安装便捷性，成为湿制程工艺设备的关键要素。

现有技术虽使用非金属且耐化学腐蚀管材用于承载化学药品，但是遇多种化学药品且单一装置供液时，仍存在多种非金属管材外漏且需要金属材质作为支撑载体；然而在半导体湿制程中某些化学药品具有强腐蚀性与强挥发性，容易将未有效防护的金属材质腐蚀或者在防护密封失效的情况下导致金属材质腐蚀情况的发生。因此在不宜存在金属材质的半导体湿制程工艺设备中，现有技术存在被化学药品腐蚀的风险。

发明内容

本发明为了有效的解决上述背景技术中的问题，提出了一种多层喷淋装置。

具体技术方案如下：

一种多层喷淋装置，包括至少一层外层非金属管材、至少一层中间层金属管材和至少一层内层非金属管材，其中，外层非金属管材、中间层金属管材和内层非金属管材依次同心套装在一起。

优选地，所述中间层金属管材紧贴于所述外层非金属管材。

优选地，所述中间层金属管材与内层非金属管材之间留有间隙。

优选地，所述外层非金属管材和内层非金属管材的两端之间焊接有堵头。

优选地，所述堵头的前端插入到中间层金属管材与内层非金属管材之间的间隙中，堵头的后端与内层非金属管材和外层非金属管材焊接。

优选地，所述外层非金属管材上焊接有非金属焊接块。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本装置既耐化学药品腐蚀又能具有很好的刚性，通过最外层非金属管材实现耐化学药品腐蚀功能，通过中间层金属管材实现喷淋装置具有足够的刚性，通过最内层非金属管材实现化学药品的承载。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1中A处的放大图；

图3是图1中B处的放大图。

具体实施方式

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位旋转90度或处于其他方位，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

下面结合附图及较佳实施例详细说明本发明的具体实施方式。