[发明专利]异常检测装置、异常检测方法、存储介质、快门装置及曝光装置

说明书

本发明提供异常检测装置、异常检测方法、存储介质、快门装置及曝光装置。一种异常检测装置用于检测被构造为遮挡光的快门装置中的异常操作，所述异常检测装置包括：检测单元，其被构造为：在关于对快门装置的测量数据的信息被输入到异常检测模型的情况下，使用所述异常检测模型检测异常操作，所述异常检测模型输出用于检测异常操作的确定数据。

技术领域

本公开涉及异常检测装置、异常检测方法、存储介质、快门装置、曝光装置和物品制造方法。

背景技术

快门装置有时用于在制造诸如曝光装置和模制装置的装置中遮挡光，曝光装置经由标线对基板进行曝光，模制装置使基板上的组合物与模具接触并用光照射组合物以使组合物硬化。

日本特开第2001-44110号公报讨论了一种曝光装置，该曝光装置用于将标线图案投影到晶片上并在半导体制造过程中对该晶片进行曝光，该曝光装置包括用于在曝光期间控制曝光量的快门装置。

根据日本特开第2001-44110号公报，在检测到驱动快门装置的电机中的电流不足的情况下，基于检测结果采取预防措施。

然而，在快门装置中发生的异常操作不限于由电机中的电流不足引起的异常操作。例如，可能发生由诸如快门叶片或电机轴的部件引起的异常操作。此外，例如，快门装置的部件会随着时间的推移而劣化，并且快门装置的部件中可能会发生异常。此外，例如，在快门叶片因外力或受热而变形的情况下，快门可能与其他部件接触，这可能损坏快门或其他部件。因此，希望快速检测快门装置中的异常操作。

发明内容

本公开的一些实施例旨在提供一种异常检测装置、异常检测方法和存储介质，用于快速检测快门装置中的异常操作。

根据本公开的一个方面，一种异常检测装置用于检测被构造为遮挡光的快门装置中的异常操作，该异常检测装置包括检测单元，该检测单元被构造为：在关于对快门装置的测量数据的信息被输入到异常检测模型的情况下，使用所述异常检测模型来检测异常操作，所述异常检测模型输出用于检测异常操作的确定数据。

根据下面参照附图对示例性实施例的描述，各种实施例的另外的特征将变得清楚。

附图说明

图1A和图1B是示出快门装置的构造的图。

图2是示出用于检测快门装置中的异常操作的异常检测装置的图。

图3示出根据第一示例性实施例的异常检测处理的流程图。

图4是示出特征值和马氏距离的图。

图5A和图5B是示出由传感器测量的时序数据的图。

图6是示出根据第二示例性实施例的异常检测处理的流程图。

图7是示出被划分和分组的时序数据的图。

图8A、图8B和图8C是示出特征值和马氏距离的组的图。

图9是示出包括快门装置的曝光装置的图。

图10是示出包括快门装置的模制装置的图。

具体实施方式

下面将参照附图详细描述各种示例性实施例。应当注意，以下示例性实施例并不旨在限制每个实施例。此外，虽然下面描述了根据示例性实施例的多个特征，但并非该多个特征中的所有特征对于每个实施例总是必要的。此外，可以根据需要组合该多个特征。此外，在附图中相同或相似的组件被赋予相同的附图标记，并且省略其赘述。