[发明专利]一种高效LED与激光光源的光路混光结构

说明书

本发明公开了一种高效LED与激光光源的光路混光结构，包括具有一小孔的反射镜、激光器、LED光源和混光组件；所述激光器设置在所述反射镜背面且将发射出的激光由所述小孔内照射出；所述LED光源与所述反射镜之间设置有第一透镜组，所述LED光源发射出的LED光线通过所述第一透镜组压缩后照射至所述反射镜的反射面上被反射，与由小孔内照射出的激光同步照射至所述混光组件上；所述混光组件包括依次设置的第二透镜组、光棒和第三透镜组；本发明的高效LED与激光光源的光路混光结构，解决现有技术中LED与激光器耦合效率低的问题。

技术领域

本发明属于PCB光刻用照明系统领域，更具体的说涉及一种高效LED与激光光源的光路混光结构。

背景技术

光刻照明系统是PCB光刻机上的核心组件，常规的照明光源通常波长比较单一，而对于一些特殊的应用，比如防焊等的曝光，通常需要宽波段范围曝光，这样曝光的效果和效率都相对较高，目前直写光刻针对防焊油墨的曝光，基本采用三种方式，一是不同波长激光混合而成，二是不同波长LED混合而成，三是不同波长激光加LED混合而成，第一种全部采用激光器，成本较高，且波长会出现断档，第二种，全部是LED，光学系统利用率不高且总能量输出较低，限制了整机的产能。第三种方式采用LED加上激光的方式，波长范围连续且成本相对较低，但是目前这种方式，各波长耦合在一起，通常采用分色分光的方式，将不同波长的光耦合成一束，由于各光源的波长范围比较靠近，而分色分光通常有一定带宽的过渡区域，导致耦合的效率不高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高效LED与激光光源的光路混光结构，解决现有技术中LED与激光器耦合效率低的问题。

本发明技术方案一种高效LED与激光光源的光路混光结构，包括具有一小孔的反射镜、激光器、LED光源和混光组件；所述激光器设置在所述反射镜背面且将发射出的激光由所述小孔内照射出；

所述LED光源与所述反射镜之间设置有第一透镜组，所述LED光源发射出的LED光线通过所述第一透镜组压缩后照射至所述反射镜的反射面上被反射，与由小孔内照射出的激光同步照射至所述混光组件上；所述混光组件包括依次设置的第二透镜组、光棒和第三透镜组；

所述第二透镜组对所述反射镜反射的LED光线和由反射镜上的小孔内照射出的激光进行汇聚，照射至光棒的接收面上；光棒的后截面上发射出的混光光线经由第三透镜组匀光放大后照射至曝光面上，在爆光面上获得放大的光斑。

优选地，所述反射镜为平面反射镜，所述激光器由所述小孔内照射出的激光和平面反射镜反射的LED光线经由第二透镜组汇聚到光棒的接收面。

优选地，所述反射镜为凸面反射镜或凹面反射镜，所述小孔设置在凸面反射镜或凹面反射镜的中心位置，所述激光器由所述小孔内照射出的激光经由第二透镜组汇聚到光棒的接收面，LDE光源发射出的LED光线经过凸面反射镜或凹面反射镜反射后再经由第二透镜组汇聚到光棒的接收面。

本发明技术方案的一种高效LED与激光光源的光路混光结构的有益效果是：混光光路简单，涉及的光学部件少；利用反射镜实现LED光路反射且激光不经过发射，光能量损失少，光能量利用率高。

附图说明

图1为本发明技术方案的一种高效LED与激光光源的光路混光结构示意图。

图2为本发明技术方案的一种高效LED与激光光源的光路混光结构的实施例二结构示意图。

图3为本发明技术方案的一种高效LED与激光光源的光路混光结构的实施例三结构示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本发明技术方案，现结合说明书附图对本发明技术方案做进一步的说明。

如图1所示，为本发明技术方案的一种高效LED与激光光源的光路混光结构示意图，也即本光路混光结构的实施例一示意图。下面结合图1对本光路混光结构作详细介绍。