[发明专利]一种钨化学机械抛光液及其应用

权利要求书

1.一种钨化学机械抛光液，其特征在于，包括二氧化硅磨料、铁盐催化剂、氧化剂、稳定剂、速率抑制剂、醛基化合物和水；其中，所述速率抑制剂为含有伯胺基的小分子含氮化合物；优选地，所述速率抑制剂为除脯氨酸之外的α-氨基酸、具有伯胺基的含氮杂环、脂肪族或芳香族伯胺中的至少任一种。

2.根据权利要求1所述的钨化学机械抛光液，其特征在于，以质量百分含量计，所述钨化学机械抛光液包括1-10％的二氧化硅磨料、0.001-0.1％的铁盐催化剂、1.5-2.5％氧化剂、0.01-0.2％的稳定剂、0.005-0.2％的速率抑制剂，0.001-0.1％的醛基化合物，余量为水；优选地，包括1-5％的二氧化硅磨料、0.01-0.1％的铁盐催化剂、2.0％的氧化剂、0.05-0.2％的稳定剂、0.01-0.2％的速率抑制剂，0.005-0.1％的醛基化合物，余量为水。

3.根据权利要求1或2所述的钨化学机械抛光液，其特征在于，所述α-氨基酸选自甘氨酸、丙氨酸、谷氨酸、亮氨酸、酪氨酸、丝氨酸、组氨酸、缬氨酸、赖氨酸或精氨酸中的一种或几种；优选选自甘氨酸或赖氨酸中的一种或两种。

4.根据权利要求1或2所述的钨化学机械抛光液，其特征在于，所述具有伯胺基的含氮杂环选自3-氨基-1,2,4-三氮唑、3,5-二氨基-1,2,4-三氮唑、5-氨基-1H-四氮唑、2-氨甲基吡啶、4-氨基吡啶、2-氨基嘧啶、腺嘌呤或N-氨乙基哌嗪中的一种或几种。

5.根据权利要求1或2所述的钨化学机械抛光液，其特征在于，所述脂肪族或芳香族伯胺选自二乙烯三胺、四乙烯五胺、五乙烯六胺、辛胺、十二胺、乙二胺或苯胺中的一种或几种。

6.根据权利要求1或2所述的钨化学机械抛光液，其特征在于，所述醛基化合物为小分子醛或大分子醛；优选地，所述小分子醛的分子量在2000道尔顿以下，更优选自辛醛、月桂醛、肉豆蔻醛、壬二烯醛、甲基柑青醛、香兰素、吡哆醛、铃兰醛、柠檬醛中的任一种；所述大分子醛的分子量在2000道尔顿以上，更优选自不饱和醛的聚合物，进一步优选聚柠檬醛、聚壬二烯醛、氧化葡聚糖中的任一种。

7.根据权利要求1或2所述的钨化学机械抛光液，其特征在于，所述二氧化硅磨料为硅溶胶或气相二氧化硅；优选地，所述氧化剂是过氧化氢。

8.根据权利要求1或2所述的钨化学机械抛光液，其特征在于，所述铁盐催化剂为能在水溶液中电离出铁离子的铁盐；优选为硝酸铁。

9.根据权利要求1或2所述的钨化学机械抛光液，其特征在于，所述稳定剂为有机酸；优选选自乙二酸、丙二酸、丁二酸、柠檬酸、酒石酸中的一种或几种；更优选为丙二酸。

10.根据权利要求1或2所述的钨化学机械抛光液，其特征在于，所述钨化学机械抛光液的pH为2.0-2.5。

11.权利要求1～10任一项所述的钨化学机械抛光液在钨化学机械抛光中的应用。