[发明专利]一种基于电感耦合等离子体的真空玻璃真空度检测系统

说明书

本申请公开了一种基于电感耦合等离子体的真空玻璃真空度检测系统，涉及真空玻璃检测领域，该真空玻璃真空度检测系统中的真空度检测装置包括直流电源、匹配电路和螺旋型结构的电感线圈，电感线圈贴近待检测真空玻璃，直流电源通过匹配电路给电感线圈通入交流电流，使得电感线圈产生交变的感应电场，基于交变电磁场在低气压环境下容易产生电感耦合等离子体的特性，利用待检测真空玻璃的内部隔层中形成的发光区域的面积来指示待检测真空玻璃的真空度，为真空玻璃的真空度检测提供了一种全新的思路，相比于现有各种真空度检测装置和方法，本申请结构简单，检测效率和检测准确度较高。

技术领域

本申请涉及真空玻璃检测领域，尤其是一种基于电感耦合等离子体的真空玻璃真空度检测系统。

背景技术

真空玻璃具有优良的透光、隔热、隔声及保温性，因此在各个领域都得到了广泛应用。真空玻璃的真空度决定了真空玻璃的性能，因此对真空玻璃的真空度的检测是检测真空玻璃的性能是否合格的重要依据。但是真空玻璃的真空度不能用真空计之类的直接方法来检测，因此目前一般都是采用各种装置和方法来间接检测的，目前常见的一些检测装置和方法包括：

专利号为204154443U、专利名称为一种玻璃真空度在线检测装置的专利采用超声波信号的高频传播特性，以及超声波在不同介质中传播能量衰减的情况进行定量分析，解决了真空玻璃真空度的快速检测问题，但是这种玻璃真空度在线检测装置超声波测量转换复杂，增加了后续信号处理的负担，真空度检测方式繁琐，效率较低。

专利号为CN107328519A、专利名称为一种基于光学反射定律对真空玻璃真空度的专利提供的在线检测方法对光路精确性要求极高，如果光路出现偏差会对检测结果产生很严重的影响，增大了使用难度，且需要使用金反射镜和CCD相机，检测装置成本较高，并不适合广泛应用。

专利号为CN208968740U、专利名称为一种真空玻璃真空度检测装置的专利通过测量得到不同温度值判断真空玻璃的真空度是否附合校准，但是这种检测方式需要对真空玻璃加热10-15min，检测所需要的时间成本比较高，不适合检测大数量真空玻璃的真空度；而且这种真空度检测方式容易受到环境影响，在环境温度过高或过低都会影响传热过程，使得测量结果出现误差，影响真空度检测结果准确性。

专利号为CN213902735U、专利名称为一种真空度检测设备的专利需要将真空玻璃送到实验室或工厂进行检测，检测实时性较差，不利于快速检测。

发明内容

本申请人针对上述问题及技术需求，提出了一种基于电感耦合等离子体的真空玻璃真空度检测系统，本申请的技术方案如下：

一种基于电感耦合等离子体的真空玻璃真空度检测系统，其特征在于，真空玻璃真空度检测系统包括：真空度检测装置以及待检测真空玻璃；

真空度检测装置包括直流电源、匹配电路和电感线圈，电感线圈呈螺旋型结构，直流电源通过匹配电路连接电感线圈的两端；

真空度检测装置的电感线圈与待检测真空玻璃之间的距离不超过距离阈值；

直流电源通过匹配电路给电感线圈通入交流电流，使得电感线圈产生交变的感应电场，待检测真空玻璃的内部隔层在交变的感应电场的作用下产生感应耦合等离子体，并在待检测真空玻璃的内部隔层中形成发光区域，发光区域的面积与待检测真空玻璃的真空度相关。

其进一步的技术方案为，待检测真空玻璃的内部隔层中形成的发光区域的面积越大，所指示的待检测真空玻璃的真空度越高。

其进一步的技术方案为，当待检测真空玻璃的内部隔层中形成的发光区域的面积达到电感线圈的面积的90％时，确定待检测真空玻璃的真空度为0.01Pa-0.1Pa；

当待检测真空玻璃的内部隔层中形成的发光区域的面积为电感线圈的面积的50％～90％时，确定待检测真空玻璃的真空度为0.1Pa-2Pa；