[发明专利]机械臂以及晶圆搬运机器人

权利要求书

1.一种机械臂(100)，其特征在于，

机械臂(100)包括肩部(1)、第一伸缩臂(2)、第二伸缩臂(3)、手指安装座(4)、手指(5)、肩关节轴(6)、肘关节轴(7)以及腕关节轴(8)；

肩关节轴(6)设置在肩部(1)和第一伸缩臂(2)之间，

肘关节轴(7)设置在第一伸缩臂(2)和第二伸缩臂(3)之间，

腕关节轴(8)设置在第二伸缩臂(3)和手指安装座(4)之间，

手指(5)固定于手指安装座(4)；

肩部(1)能够驱动第一伸缩臂(2)以及肘关节轴(7)围绕肩关节轴(6)正向旋转；

第一伸缩臂(2)以及肘关节轴(7)围绕肩关节轴(6)的旋转能够带动第二伸缩臂(3)以及腕关节轴(8)围绕肘关节轴(7)反向旋转；

第二伸缩臂(3)以及腕关节轴(8)围绕肘关节轴(7)的反向旋转能够带动手指安装座(4)以及手指(5)围绕腕关节轴(8)正向旋转；

其中，

肩部(1)的驱动采用纯齿轮驱动；

肩关节轴(6)和肘关节轴(7)之间经由齿轮连接；

肘关节轴(7)和腕关节轴(8)之间经由齿轮连接。

2.根据权利要求1所述的机械臂(100)，其特征在于，

肩部(1)包括肩板(11)、驱动电机(12)、手臂驱动齿轮(13)、肩部轴承(14)以及肩部活动齿轮(15)，

肩板(11)包括肩水平板(111)，肩关节轴(6)立设并固定于肩水平板(111)，肩关节轴(6)和肩水平板(111)相对彼此不动，

驱动电机(12)包括主体(121)和输出轴(122)，主体(121)固定于肩水平板(111)，主体(121)和肩水平板(111)相对彼此不动，输出轴(122)从主体(121)向上延伸，输出轴(122)能够围绕其自身的轴线在水平面内旋转，

手臂驱动齿轮(13)固定安装于驱动电机(12)的输出轴(122)，手臂驱动齿轮(13)能够随着驱动电机(12)的输出轴(122)的旋转而与驱动电机(12)的输出轴(122)同向地旋转，

肩部轴承(14)安装在肩关节轴(6)的下部上，

肩部活动齿轮(15)安装在肩部轴承(14)上，肩部活动齿轮(15)与手臂驱动齿轮(13)啮合，以在手臂驱动齿轮(13)的驱动下与手臂驱动齿轮(13)的旋转方向相反地围绕肩关节轴(6)旋转。

3.根据权利要求2所述的机械臂(100)，其特征在于，

第一伸缩臂(2)包括手臂(21)、肩部固定齿轮(22)、手臂中间齿轮(23)、第一轴承(24)以及肘部活动齿轮(25)，

手臂(21)包括手臂水平板(211)，手臂水平板(211)位于肩部活动齿轮(15)的上方并在上下方向(D1)上与肩部活动齿轮(15)固定在一起，手臂水平板(211)开设有沿上下方向(D1)贯通的第一通孔(211a)，肩关节轴(6)向上穿过第一通孔(211a)，肘关节轴(7)固定于手臂水平板(211)且向上延伸，肘关节轴(7)和手臂水平板(211)相对彼此不动，

肩部固定齿轮(22)位于手臂水平板(211)的上方且固定于肩关节轴(6)，肩部固定齿轮(22)和肩关节轴(6)相对彼此不动，

手臂中间齿轮(23)设置在手臂水平板(211)上，手臂中间齿轮(23)能够自转，手臂中间齿轮(23)与肩部固定齿轮(22)啮合，

第一轴承(24)安装在肘关节轴(7)的下部；

肘部活动齿轮(25)安装在第一轴承(24)上，肘部活动齿轮(25)与手臂中间齿轮(23)啮合以使手臂中间齿轮(23)位于肘部活动齿轮(25)和肩部固定齿轮(22)之间。