[发明专利]一种可调节宽变压精准进样的气体样品进取样方法在审
申请号: | 202211108605.3 | 申请日: | 2022-09-13 |
公开(公告)号: | CN115483087A | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 韩琰;孟冬辉;闫荣鑫;孙立臣;郭琦;袁翠平;崔寓淏;孙伟;王静涛 | 申请(专利权)人: | 北京卫星环境工程研究所 |
主分类号: | H01J49/00 | 分类号: | H01J49/00;H01J49/04;G01N27/62 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 100094 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 调节 变压 精准 气体 样品 进取 方法 | ||
1.一种可调节宽变压精准进样的气体样品进取样方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:选择合适的微调阀流量范围和内径尺寸,微调阀开度越大,分流越多,毛细管出口处压力越低,为1000Pa左右,即为微调阀入口压力,结合分流泵的抽速和极限真空数值,可计算得到微调阀全开状态下的流导数值,从而确定微调阀的流量范围和内径尺寸;
S2:选择合适的毛细管内径和长度,毛细管为气体样品进样口,进口压力为大气压,出口压力在1000Pa~10000Pa之间,结合微调阀入口抽速,可计算得到毛细管的流导,根据长直通管流导的计算公式可以确定毛细管的内径和长度;
S3:选择合适的限流微孔直径和厚度,限流微孔的进气端即为毛细管的出气端,压力在1000Pa~10000Pa之间;限流微孔的出气端即为质谱室;根据气体质谱仪主泵组抽速和限流微孔两端压力差,可以计算得到限流微孔的流导;结合限流微孔的圆截面长管模型,即可计算得到限流微孔的直径和厚度;
S4:进样阀的安装,进样阀由所述限流微孔和电磁阀、进样管组成,根据进样管的管径,质谱计应留有相同口径的接口,进样管安装应从接口处伸入至电离源离化区位置,有利于进样气体样品的准确进样,使气体样品能够充分电离;
S5:气体样品进样量的调节,采用毛细进样、泵组分流和微孔限流三种减压方式,在确保气体小流量进样的条件下,能够依然维持较快的检测反应时间和较宽的调节压力范围;
S6:快速除污,通过开启除污阀可快速抽除进样管路中残留的气体样品。
2.根据权利要求1所述的一种可调节宽变压精准进样的气体样品进取样方法,其特征在于,所述毛细进样中的毛细管采用内径不超过0.5毫米、米量级长度的毛细管,通过减小流导来充分减小气体样品的进样量,达到第一级减压的目的。
3.根据权利要求1所述的一种可调节宽变压精准进样的气体样品进取样方法,其特征在于,所述泵组分流采用机械泵组和微调阀来实现分流的目的,通过调节微调阀的开度来调整分流气体量,进而调节进入质谱室内气体量和质谱室内真空压力。
4.根据权利要求1所述的一种可调节宽变压精准进样的气体样品进取样方法,其特征在于,所述微孔限流中质谱室的进样口采用微米量级的限流微孔,气体样品经过前两重的减压措施后,由限流微孔进入质谱室,通过限流来达到维持质谱室内所需工作的压力。
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