[发明专利]FCVD制备保偏光纤应力棒的方法

权利要求书

1.一种FCVD制备保偏光纤应力棒的方法，其特征是，它包括如下步骤：

步骤1，上管，将两端延接好的高纯石英衬管，一端插入旋转接头，一端采用O型圈密封，放入FCVD车床，并释放应力固定；

步骤2，刻蚀，向衬管内通入SF₆将衬管内壁上附着的污渍腐蚀干净；

步骤3，沉积光学包层，向衬管内通入一定比例的SiCl₄、O₂混合气体，在高温下反应生成SiO₂在衬管低温区沉积并在高温下烧结；

步骤4，沉积芯层，向衬管内通入一定比例的三氯化硼BCl₃、SiCl₄、O₂混合气体，在高温下反应生成SiO₂、B₂O₃在衬管低温区沉积并在高温下烧结；

步骤5，熔缩，将衬管内压力调为微正压或微负压，在高温下由于表面张力的作用，衬管外径会收缩，通过调节温度、炉子移动速度和管内压力来控制衬管缩进量；

步骤6，烧实，将衬管内压力调为微负压，在高温下控制炉子移动速度将衬管烧实；

步骤7，抛光，通过加热炉内的高温使预制棒表面的SiO₂等粉尘挥发，最终使预制棒表面光滑无缺陷；

步骤8，下棒，将应力棒两端拉断并放置在缓存架上。

2.根据权利要求1所述的制备保偏光纤应力棒的方法，其特征是：

在步骤3中，SiCl4流量100-500sccm，O₂混合气体流量1000-2000sccm，高温温度范围1600-2000℃。

3.根据权利要求1所述的制备保偏光纤应力棒的方法，其特征是：

在步骤4中，BCl₃流量100-200sccm，SiCl4流量100-500sccm，O₂混合气体流量1000-2000sccm，高温温度范围1500-2000℃。

4.根据权利要求1所述的制备保偏光纤应力棒的方法，其特征是：

在步骤5中，压力范围0±0.2Torr,高温温度范围1600-2000℃，移动速度20-80mm/min；每层缩进量2-5mm。

5.根据权利要求1所述的制备保偏光纤应力棒的方法，其特征是：

在步骤6中，压力范围-0.2-0Torr,高温温度范围1800-2200℃，移动速度10-30mm/min。

6.根据权利要求1所述的制备保偏光纤应力棒的方法，其特征是：

在步骤7中，高温温度范围1400-1800℃。

7.根据权利要求1~6任一项所述的制备保偏光纤应力棒的方法，其特征是：所述FCVD车床主要包括旋转接头、顶座、车床、加热炉、导气尾管、洗涤塔排气系统和气柜系统；旋转接头用于连接导气管和衬管并在工作时处于旋转密封状态；顶座用于固定衬管并带动衬管旋转；加热炉提供制备过程中所需要的温度；导气尾管用于衬管的延长辅助管，不参与反应；洗涤塔排气系统用于反应产生的尾气的处理；气柜系统用于提供反应的各种大宗气体和特气。