[发明专利]液体材料气化装置

说明书

本发明提供一种液体材料气化装置，不设置用于加热液体材料供给管的供给管用加热机构就能够加热液体材料供给管，所述液体材料气化装置具备：气液混合部(2)，将液体材料与气体混合，生成气液混合体；液体材料供给管(4)，向气液混合部(2)供给液体材料；气化部(3)，加热气液混合体，将液体材料气化；以及壳体(7)，收容气液混合部(2)、气化部(3)以及液体材料供给管(4)，在壳体(7)的内部形成有将来自气化部(3)的热对流向液体材料供给管(4)引导的流道(R)。

技术领域

本发明涉及液体材料气化装置。

背景技术

作为以往的液体材料气化装置，如专利文献1所示，可以考虑如下的装置：通过气液混合部将液体材料与载气混合，生成气液混合体，将该气液混合体导入气化部，将液体材料气化。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2017-104815号

如图4所示，在该液体材料气化装置中除了设置有用于对气化部进行加热的气化部用加热机构以外，还设置有对向气液混合部供给液体材料的液体材料供给管进行加热的供给管用加热机构。该供给管用加热机构在液体材料供给管的周围设置有加热用块，使用内置于该加热用块内的例如筒式加热器，对液体材料供给管进行加热。

通过该供给管用加热机构将液体材料供给管加热到规定的温度(例如60℃左右)，并检测液体材料供给管内的压力是否是液体材料的蒸气压，由此确认液体材料供给管内的液体材料的有无。另外，通过加热液体材料供给管，提高粘性高的液体材料的温度、降低粘性，使液体材料容易导入气液混合部。

但是，如果设置液体材料供给管用加热机构，则除了部件个数增加以外，消耗电力也增加。另外，由于设置液体材料供给管用加热机构，液体材料气化装置的设置面积也增大。

发明内容

因此，本发明是鉴于如上所述的问题而做出的，主要目的在于在液体材料气化装置中不设置用于加热液体材料供给管的供给管用加热机构就能够加热液体材料供给管。

即，本发明的液体材料气化装置的特征在于具备：气液混合部，将液体材料与气体混合，生成气液混合体；液体材料供给管，向所述气液混合部供给所述液体材料；气化部，加热所述气液混合体，将所述液体材料气化；以及壳体，收容所述气液混合部、所述气化部以及所述液体材料供给管，在所述壳体的内部形成有将来自所述气化部的热对流向所述液体材料供给管引导的流道。

如果是这样的液体材料气化装置，则由于在壳体的内部形成有将来自气化部的热对流向液体材料供给管引导的流道，所以通过来自气化部的热对流能够加热液体材料供给管。由此，能够不需要用于加热液体材料供给管的供给管用加热机构。其结果，能够削减部件个数，降低环境负荷，并且能够降低消耗电力。另外，也能够削减液体材料气化装置的设置面积。

为了容易将来自气化部的热对流向与气液混合部连接的液体材料供给管引导，优选的是，在所述壳体的内部，所述气液混合部设置在所述气化部的上方。

具体地说，优选的是，在所述壳体的内部，所述液体材料供给管设置在所述气化部的上方。

在以往的液体材料气化装置中，由于气液混合部被来自气化部的传热(热对流)加热，所以根据液体材料的种类，液体材料热分解或劣化。因此，以往设置通过向气液混合部喷吹气体等来进行冷却的冷却机构。为了不需要该冷却机构并且不使气液混合部被来自气化部的热对流加热而成为高温，优选的是，设置有将气液混合部与气化部之间隔开的间隔部。具体地说，优选的是，所述壳体的内部被划分成两个收容空间，在一方的所述收容空间收容有所述气液混合部，在另一方的所述收容空间收容有所述气化部以及液体材料供给管。