[发明专利]一种超顺排碳纳米管薄膜化学镀铜工艺及其应用有效

专利信息
申请号: 202211128087.1 申请日: 2022-09-16
公开(公告)号: CN115491665B 公开(公告)日: 2023-05-09
发明(设计)人: 杨志刚;杜广;袁程;党兴;钟良;陈扬杰;杜国才;邹宜鑫 申请(专利权)人: 西南科技大学
主分类号: C23C18/40 分类号: C23C18/40
代理公司: 绵阳远卓弘睿知识产权代理事务所(普通合伙) 51371 代理人: 张忠庆
地址: 621010 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 超顺排碳 纳米 薄膜 化学 镀铜 工艺 及其 应用
【权利要求书】:

1.一种超顺排碳纳米管薄膜化学镀铜工艺,其特征在于,该化学镀铜工艺的步骤包括:对超顺排碳纳米管薄膜依次进行超声波清洗、除油、预活化、活化、化学镀铜和钝化;

其中,所述的预活化的过程为:将三羟甲基氨基甲烷加入水中超声波振荡5~15min后,加入多巴胺盐酸盐,配置成多巴胺溶液,将超顺排碳纳米管薄膜加入多巴胺溶液中,在室温下搅拌预活化12~36h,取出超顺排碳纳米管薄膜用缓水流清洗;所述多巴胺溶液中三羟甲基氨基甲烷的浓度为3~6g/L,多巴胺盐酸盐的浓度为0.5~2g/L;

所述的活化的过程为:将超顺排碳纳米管薄膜加入硝酸银溶液中浸泡活化5~10min,然后用缓水流反复清洗;或者将硝酸银溶液垂直滴到预活化后超顺排碳纳米管薄膜表面,静置5~10min,然后用缓水流反复清洗;所述硝酸银溶液的浓度为1~3g/L;

所述的化学镀铜的过程为:将活化后的超顺排碳纳米管薄膜放入镀铜液中,在温度为25~35℃下,施加超声进行化学镀40~80min,得到表面均匀、致密的铜层,用缓水流冲洗;所述镀铜液的成分包括:主盐、络合剂、稳定剂、还原剂、PH调节剂和溶剂。

2.根据权利要求1所述的超顺排碳纳米管薄膜化学镀铜工艺,其特征在于,所述的超声波清洗的过程为:先采用去离子水对超顺排碳纳米管薄膜超声波清洗5~15min,再用缓水流对进行清洗;超声波清洗的功率为50~200W,功率为25~55kHz。

3.根据权利要求1所述的超顺排碳纳米管薄膜化学镀铜工艺,其特征在于,所述的除油包括:碱性除油、缓水流清洗和烘干;所述的碱性除油的过程为:将超顺排碳纳米管薄膜放入50~70℃的氢氧化钠溶液中,除油20~40min;氢氧化钠溶液的浓度为20~40g/L。

4.根据权利要求1所述的超顺排碳纳米管薄膜化学镀铜工艺,其特征在于,所述的镀铜液中各成分的含量为:主盐为硫酸铜7~8g/L、络合剂为酒石酸钾钠15~18g/L和乙二胺四乙酸二钠20~25g/L、稳定剂为2,2联吡啶0.005~0.015g/L和亚铁氰化钾0.005~0.015g/L、还原剂为甲醛5~15mL/L、pH调节剂为氢氧化钠10~15g/L,溶剂为水;所述施加超声的功率为50~200W;功率为25~55kHz。

5.根据权利要求1所述的超顺排碳纳米管薄膜化学镀铜工艺,其特征在于,所述的钝化的过程为:将化学镀完后的超顺排碳纳米管薄膜放入钝化液中静置10~30min,取出缓水流清洗,烘干。

6.根据权利要求5所述的超顺排碳纳米管薄膜化学镀铜工艺,其特征在于,所述钝化液为苯骈三氮唑溶液,其浓度为1~2g/L。

7.一种根据权利要求1~6任一项所述的化学镀铜工艺得到的超顺排碳纳米管薄膜在电磁屏蔽中的应用,其特征在于,通过化学镀铜工艺得到的超顺排碳纳米管薄膜在4-18GHz波段的电磁屏蔽性能大于100dB。

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