[发明专利]一种碱性水系显影的负型感光树脂组合物及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种负型感光树脂组合物，由包括如下的组分制成：聚酰亚胺树脂、光致交联剂、阻聚剂及光引发剂；

所述阻聚剂具有式(I)或式(II)所示结构：

其中：

R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆、R₇、R₈、R₉、R₁₀、R₁₁、R₁₂各自代表-H、-OH、-C(CH₃)₃或-NO；

所述光致交联剂由具有双官能度的光致交联剂和具有多官能度的光致交联剂以质量比1：(0.1-0.5)组成。

2.根据权利要求1所述的负型感光树脂组合物，其特征在于：所述阻聚剂与所述聚酰亚胺树脂的质量比为(0.005-0.02)：1。

3.根据权利要求1或2所述的负型感光树脂组合物，其特征在于：所述具有双官能度的光致交联剂选自三环葵烷二甲醇二丙烯酸酯、亚甲基双丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二甲基丙烯酸酯、1,10-葵二醇二甲基丙烯酸酯、二羟甲基-三环葵烷二丙烯酸酯、氧化乙烯改性双酚A二丙烯酸酯、氧化乙烯改性双酚A二甲基丙烯酸酯、氧化丙烯改性双酚A二丙烯酸酯、丙氧基化乙氧基化双酚A二丙烯酸酯和丙氧基化乙氧基化双酚A二甲基丙烯酸酯中的一种化合物或两种及两种以上化合物的混合物。

4.根据权利要求3所述负型感光树脂组合物，其特征在于：所述具有多官能度的光致交联剂选自季戊四醇三丙烯酸酯，季戊四醇四丙烯酸酯，季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、三(2-羟乙基)异氰脲酸三丙烯酸酯和乙氧化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯中的一种化合物或两种及两种以上化合物的混合物。

5.根据权利要求4所述负型感光树脂组合物，其特征在于：所述光致交联剂与所述聚酰亚胺树脂的质量比为(0.4-0.9)：1。

6.根据权利要求1-5任一所述负型感光树脂组合物，其特征在于：所述光引发剂选自二苯甲酮、二苯甲酮衍生物、苯乙酮衍生物、噻吨酮、噻吨酮衍生物、苯偶酰、苯偶酰衍生物、苯偶姻、苯偶姻衍生物、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(O-乙氧基羰基)肟、1-苯基1,2-丁二酮-2-(邻甲氧基羰基)肟和1,3-二苯基丙三酮-2-(邻乙氧基羰基)肟中的一种化合物或两种及两种以上化合物的混合物；

所述负型感光树脂组合物还包括助粘剂和溶剂；

所述助粘剂为硅烷偶联剂；

所述溶剂为N-甲基吡咯烷酮、N,N’-二甲基乙酰胺、N,N’-二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、四甲基脲、γ-丁内酯、乳酸乙酯、环戊酮、环己酮、甲基乙基酮、四氢呋喃、乙酸乙酯和乙酸丁酯中的一种化合物或两种及两种以上化合物的混合物。

7.根据权利要求6所述负型感光树脂组合物，其特征在于：包括如下质量份的组分：(1)100质量份的聚酰亚胺树脂；(2)40-90质量份的光致交联剂；(3)0.01-5质量份的光引发剂；(4)0.01-5质量份的助粘剂；(5)0.5-1质量份的阻聚剂；(6)150-300质量份的溶剂。

8.权利要求1-7任一所述负型感光树脂组合物的制备方法，包括以下步骤：

将除所述聚酰亚胺树脂外的其它原料混合并完全溶解后，加入所述聚酰亚胺树脂，搅拌至胶液均匀溶清，得到所述负型感光树脂组合物。

9.根据权利要求8所述负型感光树脂组合物的制备方法，其特征在于：所述搅拌过程包括：先以100-150r/min速度搅拌0.5-1h时间，再以40-80r/min速度搅拌至胶液均匀溶清。

10.权利要求1-7任一所述负型感光树脂组合物在作为光刻剂材料中的应用。