[发明专利]一种负性感光性树脂组合物、其图形化的方法及其用途

权利要求书

1.一种负性感光性树脂组合物，其包括：

(A)碱可溶树脂，其包含具有不同分子量的至少两种酚醛清漆树脂，100重量份；

(B)光致产酸剂，0.1-5重量份，优选0.5-4重量份，更优选0.5-3.5重量份；

(C)光稳定剂，0.1-20重量份，优选0.5至10重量份；

(D)交联剂，1-45重量份，优选2-35重量份，更优选3-30重量份；

(E)溶剂，100-600重量份，优选110-550重量份，更优选为120-500重量份；

(F)碱性化合物，0.2-2重量份，优选为0.3-1.8重量份，更优选0.4-1.6重量份；和

(G)任选地添加剂，0.01-20重量份；优选为0.1-15重量份，更优选0.1-10重量份；

其中组分(B)-(G)的量均基于100重量份的碱可溶树脂(A)计。

2.根据权利要求1所述的负性感光性树脂组合物，其中所述至少两种酚醛清漆树脂为A-1和A-2，并且均具有式(1)的结构，

其中，m:n为1:9至9:1。

3.根据权利要求2所述的负性感光性树脂组合物，其中A-1的重均分子量为1,000至100,000，优选为1,500至50,000，更优选为4,000至8,000，分子量分布为1.0至8.0，优选为3.0至7.0；A-2的重均分子量为1,000至15,000，优选为2,000至5,000，分子量分布为1.0至4.0，优选1.5至3.0，且A-1的重均分子量大于A-2的重均分子量。

4.根据权利要求2或3所述的负性感光性树脂组合物，其中基于A-1和A-2的总量为100重量％计，A-1的量为30至100重量％，优选为35至90重量％，更优选为40至70重量％。

5.根据权利要求1或2所述的负性感光性树脂组合物，其中所述光致产酸剂与光稳定剂的用量之比为0.01-0.80:1，优选0.02-0.60:1。

6.根据权利要求1或2所述的负性感光性树脂组合物，其中所述光致产酸剂和交联剂的用量比为0.01至0.30，优选0.08至0.23，更优选0.13至0.18。

7.根据权利要求1或2所述的负性感光性树脂组合物，其中所述光稳定剂选自水杨酸酯类、苯酮类、苯并三唑类、取代丙烯腈类、三嗪类和受阻胺类光稳定剂，优选酮类光稳定剂或苯并唑类。

8.根据权利要求1或2所述的负性感光性树脂组合物，其中所述碱性化合物选自脂族胺、胺基醇、芳族胺、四级铵氢氧化物或其组合，优选为三戊胺、N-乙苯胺、N,N-二甲胺基酚、氢氧化四甲基铵、二乙胺基丙胺或其组合。

9.一种负性感光性树脂组合物形成图形的方法，其包含以下步骤：

(i)在衬底上均匀涂覆权利要求1-8中任一项所述的负性感光性树脂组合物，以形成光刻胶膜层，

(ii)将在(i)中获得的胶膜在80至130℃的温度——优选用热板——下进行预烘烤，且烘烤后光刻胶的厚度为0.5至15μm，

(iii)使用射线通过掩膜对(ii)中形成的光刻胶膜层进行部分照射，

(iv)对(iii)中曝光后的胶膜在90至130℃的温度——优选用热板——下进行曝光后烘烤，

(v)使用显影液对(iv)中得到的光刻胶膜进行显影。

10.根据权利要求1-8中任一项所述的负性感光性树脂组合物用于半导体制备中金属图形化的用途。