[发明专利]一种石英加料器清洁装置

说明书

本发明提供了一种石英加料器清洁装置。将定位支架固定在石英加料器的一端；定位支架的中心处开设有清理杆穿过的通孔；清理圈活动设置于石英加料器内，清理圈的外壁与石英加料器的内壁间隙配合；清理杆与清理圈可拆卸连接。通过上述公开的石英加料器清洁装置，通过清理杆带动清理圈对石英加料器的内壁清理，减少石英加料器内壁的灰尘和硅泥，进而在复投硅料时，能够有效减少灰尘和硅泥引入，保证了硅棒品质和晶棒的成晶率，且由于清理圈与清理杆是可拆卸连接的，因此，可根据石英加料器的内径选择合适的清理圈，保证对石英加料器的清理效率。

技术领域

本发明涉及石英加料器内壁清洁技术领域，具体为一种石英加料器清洁装置。

背景技术

目前直拉单晶均采用多次复投硅料来提高石英坩埚的利用率及单炉产量，高纯石英加料器作为主要的复投工具，随着使用次数的增加，石英加料器的内壁难免会产生灰尘及硅泥的附着，使得工作人员进行复投硅料时，容易将灰尘及硅泥引入，进而严重影响硅棒品质和晶棒的成晶率，因此，急需一种能够对石英加料器内壁的灰尘及硅泥进行深度清理的装置。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种石英加料器清洁装置，以清理加料器内壁灰尘和硅泥，避免灰尘和硅泥影响晶棒品质和晶棒的成晶率。

为实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：

一种石英加料器清洁装置，石英加料器为筒体结构，石英加料器清洁装置包括：定位支架、清理圈和清理杆；

定位支架固定于石英加料器的一端；

定位支架的中心处开设有清理杆穿过的通孔；

清理圈设置于石英加料器内，清理圈的外壁与石英加料器的内壁间隙配合；

清理杆与清理圈可拆卸连接。

优选的，定位支架通过螺栓固定于石英加料器。

优选的，清理圈，包括：环圈和设置于环圈内的第一连接架；

清理杆的第一端与第一连接架可拆卸连接。

优选的，还包括：设置于清理杆的第一端的第二连接架；

清理杆通过第二连接架与第一连接架可拆卸连接。

优选的，第一连接架包括：第一连接片、第二连接片和第三连接片；

第一连接片的第一端和第二连接片的第一端与第三连接片的第一端相连，形成三爪结构；

第一连接片的第二端、第二连接片的第二端和第三连接片的第二端与环圈的内壁固定；

第二连接架包括：第四连接片、第五连接片和第六连接片；

第四连接片、第五连接片和第六连接片沿清理杆的周向固定，形成三爪结构；

第一连接片、第二连接片、第三连接片、第四连接片、第五连接片和第六连接片均开设有用于螺栓穿过的螺孔；

第一连接片与第四连接片、第二连接片与第五连接片、第三连接片与第六连接片均通过螺栓连接。

优选的，还包括：第一支撑杆、第二支撑杆和第三支撑杆；

第一支撑杆的第一端、第二支撑杆的第一端和第三支撑杆的第一端呈预设角度固定于清理杆；

第一支撑杆的第二端与第四连接片相连，第二斜支撑杆的第二端与第五连接片相连，第三支撑杆的第二端与第六连接片相连。

优选的，沿环圈的内壁的周向均匀设有用于与第一连接片的第二端相连的第一连接点、用于与第二连接片的第二端相连第二连接点和用于与第三连接片的第二端相连第三连接点；