[发明专利]传感器气密检测及装配装置在审
申请号: | 202211147173.7 | 申请日: | 2022-09-18 |
公开(公告)号: | CN115445960A | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 王小平;曹万;熊波;陈列;陈明艳 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
主分类号: | B07C5/34 | 分类号: | B07C5/34 |
代理公司: | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人: | 谢洋 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 气密 检测 装配 装置 | ||
本发明公开一种传感器气密检测及装配装置。所述装置包括转动平台及部署在转动平台周围的上下料设备、内侧气密检测设备、外盖装配设备及外侧气密检测设备;上下料设备用于在至少一第一上料输送线及气密工装之间转运传感器底座;内侧气密检测设备用于封闭传感器底座的敞口,以及检测封闭后传感器底座内侧的气密性;外盖装配设备用于在传感器底座的敞口装配外盖;外侧气密检测设备用于检测装配后传感器底座和/或外盖端孔的气密性。本发明在装配中对传感器底座及装配后传感器的端孔分别的实施气密性检测,排除传感器底座和/或传感器底座与外盖的连接等存在的气密性缺陷。
技术领域
本发明涉及传感器件制造领域,具体而言,涉及一种传感器气密检测及装配装置。
背景技术
用于实施压力检测的传感器因与外部环境接触,若传感器气密性不能保证,则传感器无法有效判断外部环境的压力变化。为保证传感器的有效,对传感器内部、传感器各端孔的气密性检测是必要的。
发明内容
基于此,本发明实施例第一方面公开一种传感器气密检测及装配装置。所述装置包括转动平台及部署在所述转动平台周围的上下料设备、内侧气密检测设备、外盖装配设备及外侧气密检测设备;所述转动平台用于在所述上下料设备、所述内侧气密检测设备、所述外盖装配设备及所述外侧气密检测设备之间转运至少一气密工装,所述气密工装用于承载待检测的传感器底座,所述传感器底座设置有用于被外盖封闭的敞口;所述上下料设备用于在至少一第一上料输送线及所述气密工装之间转运所述传感器底座;所述内侧气密检测设备用于封闭所述传感器底座的敞口,以及检测封闭后所述传感器底座内侧的气密性;所述外盖装配设备用于在所述传感器底座的敞口装配所述外盖;所述外侧气密检测设备用于检测装配后所述传感器底座和/或所述外盖端孔的气密性。
在所述发明实施例的公开,所述转动平台包括驱动机构及转盘;所述驱动机构用于驱动所述转盘周向的转动;所述转盘用于承载至少一所述气密工装,所述上下料设备、所述内侧气密检测设备、所述外盖装配设备及所述外侧气密检测设备部署在所述转盘的周围。
在所述发明实施例的公开,所述上下料设备包括有上下料夹具、纵向位移机构及横向位移机构;所述上下料夹具用于夹持所述传感器底座;所述纵向位移机构用于驱动所述上下料夹具沿竖直方向位移;所述横向位移机构用于驱动所述纵向位移机构沿水平方向位移。
在所述发明实施例的公开,所述内侧气密检测设备包括第一纵向气缸及至少封闭所述传感器底座敞口的幅盘;所述第一纵向气缸用于驱动所述幅盘封闭所述传感器底座的敞口;所述幅盘在面向所述传感器底座的内侧设置有第一气密检测件,所述第一气密检测件用于检测封闭后所述传感器底座内侧的气密性。
在所述发明实施例的公开,所述幅盘与所述第一纵向气缸之间设置有至少一纵向弹性件。
在所述发明实施例的公开,所述外盖装配设备包括外盖夹具及转动气缸;所述外盖夹具用于夹持所述外盖;所述转动气缸用于驱动所述外盖夹具在至少一第二上料输送线及所述气密工装之间转向。
在所述发明实施例的公开,所述外侧气密检测设备包括第二纵向气缸及气密检测组件;所述第二纵向气缸用于驱动所述气密检测组件在竖直方向的位移;所述气密检测组件包括检测盘及第二气密检测件;所述检测盘用于抵接所述外盖的端孔;所述第二气体检测件用于在所述检测盘与所述外盖抵接后检测所述外盖端孔的气密性。
在所述发明实施例的公开,所述外侧气密检测设备包括平移机构;所述平移机构用于驱动所述第二纵向气缸在至少一水平方向的位移。
在所述发明实施例的公开,所述气密工装包括弹性支撑及工装盘;所述弹性支撑用于沿竖直方向支撑所述工装盘;所述工装盘用于承载所述传感器底座。
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