[发明专利]一种芯片涂胶方法在审

专利信息
申请号: 202211153152.6 申请日: 2022-09-21
公开(公告)号: CN115527894A 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 王成功 申请(专利权)人: 成都复锦功率半导体技术发展有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B05C5/02
代理公司: 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 代理人: 张巨箭
地址: 610212 四川省成都市中国(四川)*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 涂胶 方法
【权利要求书】:

1.一种芯片涂胶方法,其特征在于,所述方法包括:

将待涂胶的基底放置在涂胶装置的正下方,其中,所述涂胶装置采用片式多孔涂胶的方式;

涂胶时,涂胶装置的涂胶孔(31)不与基底接触,根据芯片的尺寸调整涂胶孔(31)的数量及大小。

2.根据权利要求1所述的一种芯片涂胶方法,其特征在于,所述涂胶装置包括:

涂胶块(1),其内部成型有用于存放粘结材料的第一通道(2),以及具有连接在所述第一通道(2)底部的涂胶孔片(3)和用于连接基底的底部空腔(4),其中,所述底部空腔(4)位于所述涂胶孔片(3)正下方,所述涂胶孔片(3)包括多个涂胶孔(31);

以及用于驱动粘结材料从涂胶孔片(3)中流出的涂胶动力部(5),所述涂胶动力部(5)与所述第一通道(2)连通。

3.根据权利要求1所述的一种芯片涂胶方法,其特征在于,所述根据芯片的尺寸调整涂胶孔(31)的数量及大小,包括:

芯片越厚,涂胶孔(31)密集且孔大;芯片越薄,涂胶孔(31)稀疏且孔小。

4.根据权利要求2所述的一种芯片涂胶方法,其特征在于,所述底部空腔(4)的长度小于所述涂胶块(1)的长度,所述底部空腔(4)的高度为芯片厚度的一半或等于芯片厚度。

5.根据权利要求2所述的一种芯片涂胶方法,其特征在于,所述根据芯片的尺寸调整涂胶孔(31)的数量及大小,包括:

在涂胶块(1)的侧面设有用于插入所述涂胶孔片(3)的插口(32),根据不同的芯片尺寸,通过插口(32)更换不同的涂胶孔片(3)。

6.根据权利要求2所述的一种芯片涂胶方法,其特征在于,所述涂胶块(1)为长方型,所述涂胶孔片(3)为长方型,涂胶孔(31)匹配芯片需要点胶的位置和胶量大小均匀设置在芯片尺寸大小内。

7.根据权利要求2所述的一种芯片涂胶方法,其特征在于,涂胶动力部(5)包括设置在涂胶块(1)顶部的第二通道(51),所述第二通道(51)连通所述第一通道(2),所述第二通道(2)为真空/压缩空气通道。

8.根据权利要求7所述的一种芯片涂胶方法,其特征在于,第二通道(51)通入压缩空气挤压出胶,当出胶量满足需求时,第二通道(51)中通入真空中止出胶。

9.根据权利要求2所述的一种芯片涂胶方法,其特征在于,所述涂胶块(1)的顶部竖直设有涂胶块平衡机构(6),所述涂胶块平衡机构(6)为方型,其内部设置有球形杆(61)和活动套球(62),所述球形杆(61)的下端与所述涂胶块(1)连接,所述球形杆(61)的上端埋设于所述活动套球(62)中。

10.根据权利要求9所述的一种芯片涂胶方法,其特征在于,将所述涂胶块平衡机构(6)与所述涂胶动力部(5)平行。

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