[发明专利]一种钽酸锂单晶生长设备

权利要求书

1.一种钽酸锂单晶生长设备，包括生长罐(1)，其特征在于，所述生长罐(1)的内部固定安装有外侧坩埚(2)，所述外侧坩埚(2)的顶部固定安装有抚平装置(3)，所述生长罐(1)的侧边固定安装有水冷装置(4)，所述水冷装置(4)的侧边固定安装有惰性气体输入装置(5)；

所述外侧坩埚(2)包括外坩埚体(21)，所述外坩埚体(21)的内部开设有气体内腔(22)，所述外坩埚体(21)的内表面开设有进气孔(23)，所述外坩埚体(21)的底部活动安装有转动块(24)，所述外坩埚体(21)底部的四边均固定连通有伸缩管(25)；

所述抚平装置(3)包括支撑架(31)，所述支撑架(31)的侧边活动安装有活动块(32)，所述活动块(32)侧边的上端固定安装有抚平块(33)，所述抚平装置(3)的数量为四个，四个所述抚平装置(3)均固定安装在外坩埚体(21)顶部，所述活动块(32)和抚平块(33)的材质均为石英石。

2.根据权利要求1所述的钽酸锂单晶生长设备，其特征在于：所述支撑架(31)固定安装在外坩埚体(21)顶部的四边，所述活动块(32)活动安装在外坩埚体(21)的上方。

3.根据权利要求1所述的钽酸锂单晶生长设备，其特征在于：所述生长罐(1)包括炉体(11)，所述炉体(11)的顶部活动安装有籽晶杆(16)，所述炉体(11)的底部固定安装有支撑脚(12)，所述炉体(11)的底部固定安装有驱动装置(13)，所述驱动装置(13)的顶部固定安装有转动杆(14)，所述转动杆(14)活动安装在炉体(11)的内部，所述炉体(11)的顶部固定安装有内坩埚(15)，所述内坩埚(15)活动安装在外坩埚体(21)的内部，所述转动杆(14)固定安装在转动块(24)的内部，所述籽晶杆(16)位于内坩埚(15)的正上方，所述炉体(11)固定连通在伸缩管(25)的底部。

4.根据权利要求1所述的钽酸锂单晶生长设备，其特征在于：所述惰性气体输入装置(5)包括氩气罐(51)，所述氩气罐(51)的侧边固定连通有出气管(52)，所述出气管(52)的侧边固定连通有转换管(53)，所述转换管(53)的顶部固定连通有输送管(54)，所述输送管(54)固定连通在伸缩管(25)的底部，所述转换管(53)固定安装在炉体(11)的底部，所述转换管(53)固定安装在驱动装置(13)的外侧。

5.根据权利要求1所述的钽酸锂单晶生长设备，其特征在于：所述水冷装置(4)包括外部水箱(41)，所述外部水箱(41)的顶部固定连通有进水口(42)，所述进水口(42)侧面的一端固定安装有水冷机组(44)，所述外部水箱(41)的另外一个侧面固定安装有排水阀(43)，所述外部水箱(41)的内部固定安装有换热板(45)，所述外部水箱(41)固定套接在出气管(52)的外表面。

6.根据权利要求5所述的钽酸锂单晶生长设备，其特征在于：所述换热板(45)包括固定板(451)，所述固定板(451)的上下两端均固定安装有固定环(452)，所述固定板(451)的数量为若干个，所述固定板(451)固定安装在外部水箱(41)的内部，所述固定环(452)活动套接在出气管(52)的外表面。