[发明专利]一种硅片多线切割机的收放线主轴箱在审
申请号: | 202211158706.1 | 申请日: | 2022-09-22 |
公开(公告)号: | CN115366275A | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 杨锦;周志 | 申请(专利权)人: | 无锡阳光精机股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D5/00 |
代理公司: | 深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙) 44611 | 代理人: | 王嘉佩 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 切割机 放线 主轴 | ||
1.一种硅片多线切割机的收放线主轴箱,包括角接触轴承(31)和圆柱滚子轴承(32),其特征在于,还包括:
套筒(2),所述套筒(2)的一端设有端部轴肩(11),所述角接触轴承(31)和圆柱滚子轴承(32)分别安装在所述套筒(2)的两端;
轴芯(1),所述轴芯(1)安装在所述角接触轴承(31)和圆柱滚子轴承(32)上,所述轴芯(1)还与线轮(9)连接;
前压盖(5),所述前压盖(5)安装在所述套筒(2)的另一端;
密封动环(43、44),所述密封动环(43、44)安装在所述轴芯(1)上,且分别位于所述角接触轴承(31)和所述轴芯(1)的芯轴肩(11)的一侧;
密封静环(41、42),所述密封静环(41、42)安装在所述套筒(2)上,且分别位于所述端部轴肩(11)和所述圆柱滚子轴承(32)的一侧,所述密封静环(41、42)还与所述密封动环(43、44)相对设置;
隔套,所述隔套安装在所述角接触轴承(31)与所述圆柱滚子轴承(32)之间;及
转接环(7),所述转接环(7)安装在所述轴芯(1)的另一端。
2.根据权利要求1所述的一种硅片多线切割机的收放线主轴箱,其特征在于,还包括:压紧螺钉(22),所述压紧螺钉(22)安装在所述端部轴肩(11)上,且环形阵列设有若干个,所述压紧螺钉(22)压紧在所述密封静环(41、42)上。
3.根据权利要求1所述的一种硅片多线切割机的收放线主轴箱,其特征在于,还包括:芯法兰(12),所述芯法兰(12)固定在所述轴芯(1)上,且与所述芯轴肩(11)连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅片多线切割机的收放线主轴箱,其特征在于,还包括:第一密封环(61),所述第一密封环(61)安装在所述前压盖(5)上,且与所述轴芯(1)活动连接。
5.根据权利要求1所述的一种硅片多线切割机的收放线主轴箱,其特征在于,还包括:第二密封环(62),所述第二密封环(62)安装在所述密封静环(41、42)上,且与所述密封动环(43、44)活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种硅片多线切割机的收放线主轴箱,其特征在于,还包括第三密封环(63),所述第三密封环(63)安装在所述前压盖(5)上,且位于所述套筒(2)与所述前压盖(5)之间。
7.根据权利要求1所述的一种硅片多线切割机的收放线主轴箱,其特征在于,所述密封动环(43、44)上设有动密封槽(431)和动密封凸起(432);所述密封静环(41、42)上设有静密封槽(411)和静密封凸起(412),所述动密封槽(431)活动插在所述静密封凸起(412)上,所述动密封凸起(432)活动插在所述静密封槽(411)上,用于形成迷宫密封。
8.根据权利要求1所述的一种硅片多线切割机的收放线主轴箱,其特征在于,所述转接环(7)上设有后密封环(71),所述套筒(2)上设有后密封槽(23),所述后密封环(71)活动插在所述后密封槽(23)内。
9.根据权利要求1至8任一项所述的一种硅片多线切割机的收放线主轴箱,其特征在于,还包括:
前锥盖(81),所述前锥盖(81)固定在所述轴芯(1)上,且位于所述前压盖(5)的一侧,所述前锥盖(81)上设有前锥面(811);
后锥盖(82),所述后锥盖(82)插在所述轴芯(1)上,所述后锥盖(82)上设有后锥面(821);及
固定套(83),所述固定套(83)固定在所述轴芯(1)上,且位于所述后锥盖(82)的一侧;
其中,所述线轮(9)的两端对称设有压紧锥面(91),所述前锥盖(81)和所述后锥盖(82)分别位于所述线轮(9)的两端,且所述压紧锥面(91)分别与所述前锥面(811)和后锥面(821)连接,所述固定套(83)用于将所述前锥盖(81)和所述后锥盖(82)压紧在所述线轮(9)上。
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