[发明专利]一种太阳能电池半成品状态评估方法

权利要求书

1.一种太阳能电池半成品状态评估方法，其特征在于，包括：

根据不同类型的电池片以及不同电池工序制作电池灰度值样片；

对对应类型的电池片和电池工序下的曝光值进行修正，使得对应类型的电池片和电池工序下PL测试仪测得的电池灰度值样片的测试灰度值与电池灰度值样片的实际灰度值一致；

根据对应类型的电池片和电池工序下修正后的曝光值以及PL测试仪对来料电池片进行灰度值检测；

根据对来料电池片灰度值的检测结果判断来料电池片是否不良。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池半成品状态评估方法，其特征在于，不同类型的电池片包括多晶、单晶PERC电池、TOPCon电池、HJT电池，不同电池工序包括制绒工序、扩散工序、去BSG工序、碱抛工序、Poly工序、退火工序、去PSG工序、后清洗工序、ALD工序、正膜工序、背膜工序。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池半成品状态评估方法，其特征在于，所述利用电池灰度值样片对对应类型的电池片和电池工序下的曝光值进行修正并对PL测试仪进行校准的方法包括：

制作高档、中档、低档这三档灰度值电池片半成品作为电池灰度值样片，高档灰度值电池片半成品的灰度值范围在220-230，中档灰度值电池片半成品的灰度值范围在160-170，低档灰度值电池片半成品的灰度值范围在90-110。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池半成品状态评估方法，其特征在于，所述对对应类型的电池片和电池工序下的曝光值进行修正，使得对应类型的电池片和电池工序下PL测试仪测得的电池灰度值样片的测试灰度值与电池灰度值样片的实际灰度值一致的方法包括：

若电池灰度值样片的实际灰度值小于测试灰度值相同时，降低曝光值；

若电池灰度值样片的实际灰度值大于测试灰度值相同时，调高曝光值。

5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池半成品状态评估方法，其特征在于，所述根据对来料电池片灰度值的检测结果判断来料电池片是否不良的方法包括：

若来料电池片灰度值大于或等于电池灰度值样片灰度值，则来料电池片良好；

若来料电池片灰度值小于电池灰度值样片灰度值并与电池灰度值样片相差超过预设阈值时，则来料电池片不良。

6.根据权利要求1所述的一种太阳能电池半成品状态评估方法，其特征在于，所述根据对来料电池片灰度值的检测结果判断来料电池片是否不良的方法还包括：

若来料电池片灰度值为255，则下调电池灰度值样片的灰度，并降低曝光值的数值，重复测试，直至测试结果小于255。

7.根据权利要求1所述的一种太阳能电池半成品状态评估方法，其特征在于，若判断来料电池片为不良后，还包括如下步骤：

获取来料电池片PL不良图形；

记录出现不良时各前电池工序中治具结构与硅片接触点位置；

制作出现不良时各前工序治具与电池片接触的接触点位置的菲林图形，所述菲林图形与PL不良图形显示大小一致；

将菲林图形与PL不良图形重合；

根据菲林图形与PL不良图形重合后对照图形识别异常工序及异常位置。

8.根据权利要求7所述的一种太阳能电池半成品状态评估方法，其特征在于，所述记录出现不良时各前电池工序中治具结构与硅片接触点位置的方法包括：利用autocad等比例绘制治具与电池片配合的图形，并标注接触点，注明工序及名称。

9.根据权利要求7所述的一种太阳能电池半成品状态评估方法，其特征在于，所述接触点包括背膜工艺点、正膜工艺点、扩散石英舟侧边卡槽、扩散石英舟底部卡槽和湿花篮卡尺。

10.根据权利要求9所述的一种太阳能电池半成品状态评估方法，其特征在于，所述接触点还包括扩散拖齿。