[发明专利]一种用于元件表面的散射特性测量装置及方法

权利要求书

1.一种用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：包括积分球A(1)、积分球B(2)、衰减模块(3)、光源组件(4)、第一探测器(5)、第二探测器(6)以及数据处理单元(7)；

所述积分球A(1)上设有入射口、第一出射口、采样口以及第二出射口；所述光源组件(4)对应设置在所述积分球A(1)的入射口外，所述第一探测器(5)对应设置在所述积分球A(1)的第一出射口外；所述采样口分别与积分球A(1)的入射口及积分球A(1)的第一出射口对应，所述采样口用于设置待测元件(8)；

所述积分球B(2)上设有入射口和出射口；所述第二探测器(6)设置对应在所述积分球B(2)的出射口处；

所述衰减模块(3)设置在所述积分球A(1)的第二出射口与所述积分球B(2)的入射口之间；

所述数据处理单元(7)分别与所述第一探测器(5)和所述第二探测器(6)电连接。

2.根据权利要求1所述的用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：所述光源组件(4)包括光源(41)和移频调制器(42)；

所述光源(41)设置在所述移频调制器(42)的入射端；

所述移频调制器(42)的出射端与所述积分球A(1)的入射口相对。

3.根据权利要求2所述的用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：还包括第三探测器(9)；

所述光源组件(4)还包括分光镜(43)；

所述分光镜(43)设置在所述移频调制器(42)与所述积分球A(1)之间；

所述积分球A(1)的入射口位于所述分光镜(43)的透射光线所在的光路上；

所述第三探测器(9)设置在所述分光镜(43)的反射光线所在的光路上，并与所述数据处理单元(7)电连接。

4.根据权利要求3所述的用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：所述光源组件(4)还包括光阑；

所述光阑设置在所述移频调制器(42)和所述分光镜(43)之间，用于滤除光学噪声。

5.根据权利要求1-4任一所述的用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：还包括具有编码器的转台(10)；

所述光源组件(4)设置在所述转台(10)上；

所述编码器与所述数据处理单元(7)电连接，用于实时输出所述转台(10)的旋转角度。

6.根据权利要求2或3或4所述的用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：所述光源(41)为激光器。

7.一种用于元件表面的散射特性测量方法，基于权利要求1-6任一所述的用于元件表面的散射特性测量装置，其特征在于：

步骤1、通过光源组件(4)发射检测光线；

步骤2、所述检测光线经所述积分球A(1)的入射口进入积分球A(1)，直至积分球A(1)采样口处的待测元件(8)表面，经待测元件(8)表面散射后，再在所述积分球A(1)内经反射收集得到第一反射光线，第一反射光线进入位于积分球A(1)第二出射口与积分球B(2)入射口之间的衰减模块(3)，之后执行步骤3至步骤5；所述检测光线还经所述待测元件(8)反射得到第二反射光线，第二反射光线通过所述积分球A(1)的第一出射口直接导出，之后执行步骤6；

步骤3、通过衰减模块(3)对所述第一反射光线进行衰减，得衰减光线；

步骤4、通过积分球B(2)对所述衰减光线进行积分收集，得到收集光线；

步骤5、位于所述积分球B(2)出射口处的第二探测器(6)采集所述收集光线，得到第一光信号，并将所述第一光信号发送至数据处理单元(7)，然后执行步骤7；

步骤6、通过第一探测器(5)采集所述第二反射光线，得到第二光信号，并将所述第二光信号发送至所述数据处理单元(7)；

步骤7、所述数据处理单元(7)接收所述第一光信号和所述第二光信号，并根据所述第一光信号和所述第二光信号计算待测元件(8)的散射特性。