[发明专利]静电吸盘安装拆卸工具

权利要求书

1.一种静电吸盘安装拆卸工具，其特征在于，所述静电吸盘安装拆卸工具包括：

静电吸盘组件取放工装，所述静电吸盘组件取放工装，用于与静电吸盘组件进行紧固连接；

数根导向轴，一端与腔体底部连接，所述静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件沿导向轴进入或者取出腔体；

数个紧固件，用于将静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件进行紧固连接以及将静电吸盘组件与腔体进行紧固连接。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘安装拆卸工具，其特征在于，所述导向轴，一端设置有螺纹，与腔体内部的螺纹孔匹配连接。

3.根据权利要求1所述的静电吸盘安装拆卸工具，其特征在于，所述导向轴，数量为至少6根，相互之间平行设置。

4.根据权利要求1所述的静电吸盘安装拆卸工具，其特征在于，所述静电吸盘组件取放工装包括工装盘、工装螺钉和把手：

所述工装螺钉，安装在工装盘的边缘，用于将静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件进行紧固连接；

所述把手，安装在工作盘的表面，提供静电吸盘组件取放工装在取出或者放入时的操作着力点。

5.根据权利要求4所述的静电吸盘安装拆卸工具，其特征在于，所述把手，数量为至少2个，对称分布设置在工装盘的表面。

6.根据权利要求4所述的静电吸盘安装拆卸工具，其特征在于，所述紧固件包括固定螺钉：

所述固定螺钉，用于将工装盘与工装螺钉进行紧固连接以及将静电吸盘组件与腔体进行紧固连接。

7.根据权利要求1所述的静电吸盘安装拆卸工具，其特征在于，还包括静电吸盘组件放置台，用于放置拆卸后的静电吸盘组件；

所述静电吸盘组件放置台，包括底部基座和上层基座；

所述上层基座，用于直接承载静电吸盘组件；

所述底部基座，与上层基座连接。

8.根据权利要求7所述的静电吸盘安装拆卸工具，其特征在于，所述底部基座和上层基座的形状，为圆筒状。

9.根据权利要求7所述的静电吸盘安装拆卸工具，其特征在于，所述上层基座的侧壁开有通孔，所述通孔用于穿过静电吸盘组件的线缆。

10.根据权利要求7所述的静电吸盘安装拆卸工具，其特征在于，所述上层基座和/或底部基座的材料，为聚四氟乙烯材料。

11.一种静电吸盘组件的安装方法，其特征在于，利用如权利要求1-10任一项所述的静电吸盘安装拆卸工具，其步骤包含：

将导向轴安装在腔体上；

将静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件进行固定；

静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件一起延着导向轴下落，放置在腔体的底面上；

取出导向轴和静电吸盘组件取放工装，将静电吸盘组件与腔体进行固定。

12.一种静电吸盘组件的拆卸方法，其特征在于，利用如权利要求1-10任一项所述的静电吸盘安装拆卸工具，其步骤包含：

将静电吸盘组件与腔体解除固定；

将导向轴安装在腔体上；

将静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件进行固定；

将静电吸盘组件取放工装与静电吸盘组件一起延着导向轴从腔体内取出。