[发明专利]一种微纳结构图像高通量自动采集拼接系统

说明书

本发明实施例提供一种微纳结构图像高通量自动采集拼接系统，通过在微纳显微镜的XY两轴平动载物台外连接两路电推杆，将手动移动拍摄样品改为电动，通过图像采集程序对微纳显微镜进行微距移动控制、图像采集，能够在小误差等间距移动载物台的同时自动采集微纳结构图像样本，并通过显微图像全景图拼接算法自动拼接样本全景图，实现对大尺寸微纳结构样品的高通量显微图像从采集到拼接全自动化，提高了后续的检测分析环节的效率和精度。

技术领域

本发明实施例涉及微纳结构图像分析技术领域，尤其涉及一种微纳结构图像高通量自动采集拼接系统。

背景技术

现有技术中，通常用显微镜放大微纳结构图案，通过手动移动载物台拍摄微纳结构图片样本来采集微纳结构的特征信息，便于后续的分析。在显微镜放大微纳结构图案后，对于微纳结构样品整体的视野减小，难以定位当前微纳结构图案处在样品的具体位置，影响对于微纳结构的分析；因此，在多次手动移动载物台拍摄图片样本的过程中，需要实时记录当前图案的大致位置，以便于在后续的检测分析过程中能够定位微纳结构样品出现问题的位置。

但是人工手动移动平台拍摄样品图片，只能对小尺寸的微纳结构样品进行低通量微纳结构图案拍摄采集，例如对25×15的微纳单元尺寸的微纳结构在4倍放大的情况下，需要至少手动移动平台拍摄25次，在移动过程中无法确保小误差的等间距移动，拍摄相邻样品图案的重复位置也会对最后的分析结果统计造成影响，且当微纳结构样品尺寸增大，需要拍摄高通量样品图片时，手动移动平台拍摄的效率就会非常低。因此，亟需提供一种微纳结构图像高通量自动采集拼接系统，能够在高倍放大的情况下，对大尺寸微纳结构样品实现小误差等间距的自动高通量图像拍摄，并将所采集的图像样本进行全景自动拼接。在全景图的状态下能够为后续的分析提供样品全貌图，便于后续检测分析时能快速精准地定位微纳结构样品出现问题的位置，同时图样是在显微放大的情况下采集，在拼接成全景图后同样保留着放大时清晰的特征信息，为后续的检测分析提供了足够的形态学数据，整体提高后续检测分析的效率。

发明内容

本发明实施例提供一种微纳结构图像高通量自动采集拼接系统，用以解决现有技术中，对大尺寸的微纳结构样品进行高通量检测效率低的问题。

为解决上述技术为题，本发明实施例提供一种微纳结构图像高通量自动采集拼接系统，括显微镜电动平台、显微图像采集单元和显微图像全景拼接单元；

所述显微镜电动平台包括多轴平动载物台，所述多轴平动载物台上搭载有微纳结构样品，用于根据控制指令搭载所述微纳结构样品进行定向定距移动，对所述微纳结构样品的空间位置进行初步调整，将所述微纳结构样品移动至微纳结构显微镜的图像采集范围内；

所述显微图像采集单元包括图像采集模块和电动平台微距移动模块，所述电动平台微距移动模块用于控制所述多轴平动载物台移动，以对所述微纳结构样品进行微距移动，所述图像采集模块用于控制所述微纳结构显微镜对微纳结构样品进行高通量图像采集，获取所述微纳结构样品在预设放大倍率情况下不同位置的微纳结构显微图像；

所述显微图像全景拼接单元用于对所述微纳结构显微图像进行全景拼接。

作为优选的，所述多轴平动载物台包括XY两轴平动载物台；所述XY两轴平动载物台包括X轴移动导轨、Y轴移动导轨和载物台安装位，所述X轴移动导轨和所述Y轴移动导轨组成可连续移动导轨，所述载物台安装位安装于所述可连续移动导轨上，所述载物台安装位用于安装载物台。

作为优选的，所述显微镜电动平台还包括电机传动结构以及至少两个步进电机；