[发明专利]用于单晶炉的坩埚支承组件和单晶炉

权利要求书

1.一种用于单晶炉的坩埚支承组件，其特征在于，包括：

坩埚托盘，其用于支承坩埚；以及

坩埚轴，其包括与动力源连接的第一端部和与所述坩埚托盘连接的第二端部，以用于通过由所述动力源驱动旋转而带动所述坩埚旋转，

其中，所述坩埚支承组件设置有用于缓冲所述坩埚支承组件的震动的吸震结构。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的坩埚支承组件，其特征在于，所述吸震结构包括设置在所述坩埚轴的所述第一端部与所述动力源的连接处的第一端部吸震结构。

3.根据权利要求2所述的用于单晶炉的坩埚支承组件，其特征在于，所述第一端部呈沿轴向方向向下渐缩的锥形，并且所述第一端部吸震结构呈与所述第一端部的形状对应的形状并能够套设在所述第一端部的外表面上。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的用于单晶炉的坩埚支承组件，其特征在于，所述吸震结构包括设置在所述坩埚轴的所述第二端部与所述坩埚托盘的连接处的第二端部吸震结构。

5.根据权利要求4所述的用于单晶炉的坩埚支承组件，其特征在于，所述第二端部包括呈沿轴向方向向上渐扩的锥形的凹部，并且所述坩埚托盘包括凸部，所述凸部呈与所述凹部的形状对应的形状，使得所述凸部能够被配装在所述凹部中，并且所述第二端部吸震结构包括呈与所述凹部的形状对应的形状并能够被布置在所述凸部与所述凹部之间的部分。

6.根据权利要求1至3中的任一项所述的用于单晶炉的坩埚支承组件，其特征在于，所述吸震结构包括以夹心形式设置在所述坩埚托盘内的内部吸震结构。

7.根据权利要求1至3中的任一项所述的用于单晶炉的坩埚支承组件，其特征在于，所述吸震结构包括设置在所述坩埚轴的所述第二端部与所述坩埚托盘的连接处的第二端部吸震结构以及以夹心形式设置在所述坩埚托盘内的内部吸震结构。

8.根据权利要求4所述的用于单晶炉的坩埚支承组件，其特征在于，所述坩埚托盘、所述第二端部吸震结构和所述坩埚轴均为中空结构，使得在所述坩埚支承组件中形成用于在所述坩埚中的硅溶液发生泄漏时容纳所泄漏的硅溶液的中空腔体。

9.根据权利要求1至3中的任一项所述的用于单晶炉的坩埚支承组件，其特征在于，所述吸震结构由硅氧烷共聚形成的弹性共聚物制成。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括根据权利要求1至9中的任一项所述的用于单晶炉的坩埚支承组件。