[发明专利]一种红外探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种红外探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供衬底(1)；

在衬底(1)上形成像元阵列，所述像元阵列包括多个像元，每个像元包括中空锚柱(6)以及支撑在中空锚柱(6)上的微桥结构(7)；

在中空锚柱(6)的空腔内部及上方形成支撑柱(13)；

形成微盖结构，支撑柱(13)对微盖结构进行支撑。

2.根据权利要求1所述的红外探测器的制备方法，其特征在于，所述在中空锚柱(6)的空腔内部及上方形成支撑柱(13)，具体包括：

在像元阵列上形成牺牲层，并刻蚀中空锚柱(6)的空腔内部及上方的牺牲层材料形成通孔；

在通孔内形成支撑柱(13)；

在形成微盖结构的过程中对所述牺牲层进行释放。

3.根据权利要求2所述的红外探测器的制备方法，其特征在于，所述在通孔内形成支撑柱(13)具体包括：

在通孔底部形成第一种子层金属(10)，采用电镀方式在通孔内形成支撑柱(13)。

4.根据权利要求3所述的红外探测器的制备方法，其特征在于，所述在通孔底部形成第一种子层金属(10)具体包括：

沉积种子金属材料，形成位于通孔底部的第一种子层金属(10)和位于牺牲层上方的第二种子层金属(11)；在第二种子层金属(11)上覆盖绝缘材料(12)；

形成支撑柱(13)之后，去除第二种子层金属(11)和绝缘材料(12)。

5.根据权利要求3所述的红外探测器的制备方法，其特征在于，所述在通孔底部形成第一种子层金属(10)具体包括：

沉积种子金属材料，形成位于通孔底部的第一种子层金属(10)和位于牺牲层上方的第二种子层金属(11)；采用图形化方法去除第二种子层金属(11)。

6.根据权利要求3所述的红外探测器的制备方法，其特征在于，第一种子层金属(10)的材料为钛、铜、金中的一种或其中多种成分叠加形成的多层材料。

7.根据权利要求1所述的红外探测器的制备方法，其特征在于，支撑柱(13)的材料为铜或镍或金或锡或钛或银。

8.根据权利要求1所述的红外探测器的制备方法，其特征在于，所述在衬底(1)上形成像元阵列之前还包括：

在衬底(1)上形成吸气剂(3)，所述吸气剂(3)采用反射金属材料，且对应于微桥结构下方设置。

9.根据权利要求8所述的红外探测器的制备方法，其特征在于：所述反射金属材料为钛或锆或钒。

10.一种红外探测器，其特征在于，包括：

衬底(1)；

像元阵列，位于所述衬底(1)上，其包括多个像元，每个像元包括中空锚柱(6)以及支撑在中空锚柱(6)上的微桥结构(7)；

微盖结构；

以及支撑柱(13)；

其中，所述支撑柱(13)形成于中空锚柱(6)的空腔内部以及上方，支撑柱(13)对微盖结构进行支撑。