[发明专利]一种氖气中氦气含量标准曲线的建立方法、氖气中氦气含量的检测方法和检测装置

说明书

本发明提供了一种氖气中氦气含量标准曲线的建立方法、氖气中氦气含量的检测方法和检测装置，涉及分析检测技术领域。本发明提供的氖气中氦气含量标准曲线的建立方法，包括以下步骤：将待测氖气和氖中氦标准气体混合，得到一系列不同浓度的氦标准气体；所述一系列不同浓度的氦标准气体与待测氖气的浓度差为氦增加的浓度；采用氦质谱检漏仪检测所述一系列不同浓度的氦标准气体，得到一系列不同浓度的氦标准气体的响应值；以所述氦增加的浓度为横坐标，以所述一系列不同浓度的氦标准气体的响应值为纵坐标，得到响应值与氦增加的浓度的标准曲线。采用本发明提供的方法建立的标准曲线，检测限能够达到0.1ppm，而且具有高准确度和良好的精密度。

技术领域

本发明涉及分析检测技术领域，具体涉及一种氖气中氦气含量标准曲线的建立方法、氖气中氦气含量的检测方法和检测装置。

背景技术

氖气，是一种无色、无味、非易燃的稀有气体，化学式为Ne，通常氖可以作为彩色霓虹灯的充装气体用于户外广告显示，还可用于可视发光指示灯、电压调节，以及激光混合气成份。

氖气的制备方法为空分法：从空分装置中提取粗氦、氖混合气。由粗氦、氖混合气经除氢、除氮后获得纯度99.95％以上的纯氖氦混合气，经分离、纯化可制得99.99％的高纯氖。

氦气是一种惰性气体，化学式为He，在常温下，它是一种极轻的无色、无臭、无味的单原子气体。氦的化学性质非常不活泼，一般状态下很难和其他物质发生反应。因此氦气作为氖气中存在的杂质，主要的去除方法为精馏法，很难通过纯化器或吸附剂去除。

目前氖气中氦气含量的测定主要为热导检测器气相色谱法，需要使用氖气作为载气，但氖中氦无法进一步去除，影响测定结果的准确性，同时受限于热导检测器的灵敏度，使得氖中氦的检测无论是检测限还是准确度都很难满足当下标准和客户的需求(热导检测器检测氖气中氦气含量检测下限基本都在2ppm以上)，因此急需一种新的高效的检测方法来实现氖气中氦气含量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种氖气中氦气含量标准曲线的建立方法、氖气中氦气含量的检测方法和检测装置，采用本发明提供的检测方法能够实现氖气中氦气含量的准确测定，具有高灵敏度、高准确度和良好的精密度，响应速度快，且操作简便快捷、重现性好。

为了实现上述发明目的，本发明提供以下技术方案：

本发明提供了一种氖气中氦气含量标准曲线的建立方法，包括以下步骤：

将待测氖气和氖中氦标准气体混合，得到一系列不同浓度的氦标准气体；所述一系列不同浓度的氦标准气体与待测氖气的浓度差为氦增加的浓度；

采用氦质谱检漏仪检测所述一系列不同浓度的氦标准气体，得到一系列不同浓度的氦标准气体的响应值；

以所述氦增加的浓度为横坐标，以所述一系列不同浓度的氦标准气体的响应值为纵坐标，得到响应值与氦增加的浓度的标准曲线。

优选地，所述氖中氦标准气体中氦气的浓度为50～1000ppm。

优选地，所述一系列不同浓度的氦标准气体还包括待测氖气。

优选地，所述响应值与氦增加的浓度的标准曲线的线性范围为0.1～100ppm。

本发明提供了一种氖气中氦气含量的检测方法，包括以下步骤：

按照上述技术方案所述氖气中氦气含量标准曲线的建立方法得到响应值与氦增加的浓度的标准曲线；

所述标准曲线的截距为待测氖气中氦气的含量。

本发明提供了一种氖气中氦气含量的检测方法，包括以下步骤：

采用氦质谱检漏仪检测待测氖气，得到待测氖气的响应值；