[发明专利]三维测量装置

权利要求书

1.一种三维测量装置，其中，

具备：

多个光源部，其对被测量物照射具有规定图案的测量光；

摄像部，其对被照射了所述测量光的所述被测量物进行摄像；及

测量部，其基于所述摄像部的摄像结果测量所述被测量物的三维形状，

所述测量光的所述规定图案包含条形图案，自所述多个光源部照射的所述测量光的所述条形图案分别具有不同的图案，

所述多个光源部沿平行于所述条形图案中的条纹的方向排列，

所述测量部基于使用所述条形图案的三维形状测量法测量所述被测量物的三维形状。

2.根据权利要求1所述的三维测量装置，其中，

所述多个光源部分别由M点振荡的S－iPMSEL构成。

3.根据权利要求1或2所述的三维测量装置，其中，

所述测量光的所述规定图案为使周期性的所述条形图案和随机圆点图案重叠的重叠图案，

所述测量部基于使用所述重叠图案的相移法测量所述被测量物的三维形状。

4.根据权利要求1或2所述的三维测量装置，其中，

自所述多个光源部照射的所述测量光的所述条形图案是分别包含不同的格雷码的格雷码图案，

所述测量部基于使用所述格雷码图案的三角测量法测量所述被测量物的三维形状。

5.根据权利要求1或2所述的三维测量装置，其中，

自所述多个光源部照射的所述测量光的所述条形图案是周期性的条形图案，分别具有不同的相移，

所述测量部基于使用所述条形图案的相移法测量所述被测量物的三维形状。

6.根据权利要求5所述的三维测量装置，其中，

所述条形图案是正弦波状的条形图案。

7.根据权利要求5或6所述的三维测量装置，其中，

自所述多个光源部照射的所述测量光的所述条形图案的相位按2π/N偏移，其中，N为条形图案的相移数。

8.一种光源装置，其中，

是基于使用条形图案的三维形状测量法测量被测量物的三维形状的三维测量装置中使用的光源装置，

具备对被测量物照射具有规定图案的测量光的多个光源部，

所述测量光的所述规定图案包含所述条形图案，自所述多个光源部照射的所述测量光的所述条形图案分别具有不同的图案，

所述多个光源部沿平行于所述条形图案中的条纹的方向排列。