[发明专利]一种高灵敏度陶瓷基叉指电极

权利要求书

1.一种高灵敏度陶瓷基叉指电极，包含基底层(1)和功能层(2)，所述功能层(2)设置于基底层(1)的表面，所述功能层(2)包含相互之间平行等距的长引脚(21)，分别为第一引脚和第二引脚，所述长引脚(21)的下端部延伸至所述基底层(2)的下端构成两个引脚端点；所述第一引脚的上端部和所述第二引脚的上端部之间分别设置有相互之间平行等距且与所述长引脚方向垂直的一级叉指条(22)，所述第一引脚的一级叉指条和所述第二引脚的一级叉指条以齿梳状交错排列，所述第二引脚的一级叉指条设置在所述第一引脚的一级叉指条的间隙中；其特征在于，所述第一引脚的一级叉指条和所述第二引脚的一级叉指条之间分别设置有相互之间平行等距、以齿梳状交错排列的二级叉指条(23)。

2.根据权利要求1所述的高灵敏度陶瓷基叉指电极，其特征在于，所述第一引脚的一级叉指条和所述第二引脚的一级叉指条相互之间平行等距的距离为5um～300um，所述第一引脚的二级叉指条和所述第二引脚的二级叉指条相互之间平行等距的距离为5um～300um、与所述一级叉指条(22)方向呈15°～90°角。

3.根据权利要求2所述的高灵敏度陶瓷基叉指电极，其特征在于，所述第一引脚的一级叉指条和所述第二引脚的一级叉指条相互之间平行等距的距离为10um～100um，所述第一引脚的二级叉指条和所述第二引脚的二级叉指条相互之间平行等距的距离为10um～100um。

4.根据权利要求2所述的高灵敏度陶瓷基叉指电极，其特征在于，所述第一引脚的一级叉指条和所述第二引脚的一级叉指条相互之间平行等距的距离为50um～300um，所述第一引脚的二级叉指条和所述第二引脚的二级叉指条相互之间平行等距的距离为50um～300um。

5.根据权利要求1所述的高灵敏度陶瓷基叉指电极，其特征在于，所述基底层(1)的材质是氧化铝、氧化锆、氮化铝或氮化硅的中至少一种，所述基底层(1)的厚度为0.10mm～5.0mm；所述功能层(2)从下往上依次包括导电层(201)、反应层(202)和保护层(203)；所述导电层(201)的厚度为0.05um～80um，所述反应层(202)的厚度为0.05um～3um，所述保护层(203)的厚度为5um～100um。

6.根据权利要求5所述的高灵敏度陶瓷基叉指电极，其特征在于，所述导电层(201)的材质是Ti、Cr、Cu、Ni或Pd中的至少一种，所述导电层(201)的厚度为0.05um～50um；所述反应层(202)为Ag、Au或Sn中的至少一种，所述反应层(202)的厚度为0.05um～2um；所述保护层(203)的材质为聚酰亚胺，所述保护层(203)的厚度为5um～50um。

7.根据权利要求5所述的高灵敏度陶瓷基叉指电极，其特征在于，所述导电层(201)的材质为W、Mo、Mn、Ni或Pd中的至少一种，所述导电层(201)的厚度为5um～20um；所述反应层(202)的材质为Ag、Au或Sn中的至少一种，所述反应层(202)的厚度为0.05um～2um；所述保护层(203)的材质为非晶态玻璃，所述保护层(203)的厚度为10um～100um。

8.根据权利要求5所述的高灵敏度陶瓷基叉指电极，其特征在于，所述基底层(1)的材质是氮化铝，所述导电层(201)的材质是Ag、Ni中的至少一种，所述导电层(201)的厚度为10um～20um；所述反应层(202)的材质为Au，所述反应层(202)的厚度为0.1um～1um；所述保护层(203)的材质为膨胀系数为6～8ppm/K的硼硅酸玻璃，所述保护层(203)的厚度为10um～20um。