[发明专利]一种碱金属杂化等离激元Y型分束器及其应用在审
| 申请号： | 202211219434.1 | 申请日： | 2022-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN115421232A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 周林;陈文轩;庄煜阳;朱嘉 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B6/122 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 万婧 |
| 地址： | 210093 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碱金属 离激元 型分束器 及其 应用 | ||
1.一种碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：包括
在垂直方向上层叠设置的碱金属层、第一材料层和第二材料层，第一材料层的折射率低于第二材料层的折射率，所述碱金属层与所述第二材料层之间为所述第一材料层；
所述第二材料层在水平方向的截面上呈Y型结构，所述第二材料层包括输入段、弯曲段和输出段，所述输出段包括两平行设置的第一输出段和第二输出段，光波由输入段进入经所述弯曲段由所述第一输出段和第二输出段输出；在所述碱金属层外包覆有保护层，所述保护层用于防止所述碱金属氧化。
2.根据权利要求1所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：所述第一材料层内嵌设所述第二材料层。
3.根据权利要求2所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：所述第二材料层周侧均包覆有所述第一材料层。
4.根据权利要求3所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：第一材料层由一种或多种材料组成，第一材料层内的所有材料的折射率均低于第二材料层的折射率。
5.根据权利要求1所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：还包括衬底层，所述第一材料层置于所述衬底层上。
6.根据权利要求1所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：所述第一材料层为二氧化硅或有机光刻胶。
7.根据权利要求1所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：所述第二材料层为硅、氮化硅、砷化镓、聚合物或铌酸锂。
8.根据权利要求1所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：所述碱金属层为钠或钾。
9.根据权利要求1所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：所述弯曲段的长度Ls为100～900nm，宽度W为150～250nm。
10.根据权利要求1所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：所述弯曲段的弯曲直径D为450～600nm。
11.根据权利要求1所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：所述第二材料层的厚度为150nm～350nm。
12.根据权利要求1所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：所述碱金属层与所述第二材料层之间间距为20nm～400nm。
13.根据权利要求1所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器，其特征在于：所述光波的波长为1200nm～1700nm。
14.权利要求1所述的碱金属杂化等离激元Y型分束器用于马赫增德尔调制器。
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