[发明专利]一种基于斯特林制冷机的冷光学系统及制造工艺

权利要求书

1.一种基于斯特林制冷机的冷光学系统，其特征在于：包括两侧分别固定安装有入射窗片和出射窗片的基座以及同轴设于基座内且外周面上设有冷头安装平台的内筒，所述内筒的两侧对应安装有入射滤光片和出射滤光片，且所述内筒的两侧外周面上分别均匀设有多根金属丝悬臂支撑，所述金属丝悬臂支撑的另一端均与基座的内壁固定相连。

2.根据权利要求1所述的一种基于斯特林制冷机的冷光学系统，其特征在于：所述入射窗片和出射窗片与基座的垂直度以及入射滤光片和出射滤光片与内筒的垂直度均小于5μm。

3.根据权利要求1所述的一种基于斯特林制冷机的冷光学系统，其特征在于：所述内筒与基座的同轴度小于5μm。

4.根据权利要求1所述的一种基于斯特林制冷机的冷光学系统，其特征在于：所述金属丝悬臂支撑的直径为0.5～1.0mm。

5.根据权利要求1所述的一种基于斯特林制冷机的冷光学系统，其特征在于：所述内筒的两侧外周面上分别设有六根金属丝悬臂支撑。

6.根据权利要求1所述的一种基于斯特林制冷机的冷光学系统，其特征在于：所述内筒两侧的金属丝悬臂支撑分别朝向基座两侧倾斜设置，且所述金属丝悬臂支撑与内筒的轴线之前的夹角α为30～60°。

7.根据权利要求1所述的一种基于斯特林制冷机的冷光学系统，其特征在于：所述金属丝悬臂支撑、内筒和基座的材质相同。

8.一种如权利要求1至7任一项所述的基于斯特林制冷机的冷光学系统的制造工艺，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1：采用三坐标仪测试分别测试入射滤光片、出射滤光片与内筒的垂直度，确保在5μm以内，然后采用激光焊接进行固定；

步骤S2：采用激光焊接将金属丝悬臂支撑固定连接在内筒的两侧外周面上；

步骤S3：采用螺钉将金属丝悬臂支撑的另一端与基座的内壁相连，所述螺钉与所述基座的内壁之间的力矩小于1.2N·m；

步骤S4:调整所述螺钉的紧固程度，对所述内筒与所述基座的相对位置进行微调，保证内筒与基座的同轴度小于5μm；

步骤S5：采用激光焊接依次固定每根金属丝悬臂支撑与基座的连接处，直至全部焊接完成后将所述螺钉去除；

步骤S6：采用三坐标仪测试分别测试入射窗片、出射窗片与基座的垂直度，确保在5μm以内，然后采用激光焊接进行固定。

9.根据权利要求8所述的一种基于斯特林制冷机的冷光学系统的制造工艺，其特征在于：所述步骤S5中，每焊接一根金属丝悬臂支撑，采用三坐标仪测量一次内筒和基座的同轴度，保证同轴度小于5μm。