[发明专利]一种基于柔性衬底的感存算器件及制备方法

权利要求书

1.一种基于柔性衬底的感存算器件，其特征在于，包括：

柔性衬底；

并列设于所述衬底上的两个电极；

连接于两个所述电极之间的功能层；

其中，所述功能层包括连接于两个所述电极之间的金属氧化物纳米线。

2.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的感存算器件，其特征在于，所述功能层还包括形成于两个所述电极的相对侧壁表面上的所述电极金属的氧化物层，所述电极金属的氧化物层连接所述金属氧化物纳米线。

3.根据权利要求2所述的基于柔性衬底的感存算器件，其特征在于，所述电极金属包括铜，所述金属氧化物纳米线包括氧化铜纳米线。

4.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的感存算器件，其特征在于，两个所述电极的下表面上分设有下粘附及阻挡层，两个所述电极的相对侧壁之间和两个所述下粘附及阻挡层的相对侧壁之间形成沟槽，所述金属氧化物纳米线位于所述沟槽中，并桥接于两个所述电极的相对侧壁之间。

5.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的感存算器件，其特征在于，两个所述电极的上表面上分设有上粘附及阻挡层，两个所述上粘附及阻挡层之间形成将所述功能层与外部相通的窗口。

6.一种基于柔性衬底的感存算器件制备方法，其特征在于，包括：

提供柔性衬底；

在所述衬底上形成两个并列设置的下粘附及阻挡层；

在两个所述下粘附及阻挡层上各形成一个电极，使得在两个所述电极的相对侧壁之间和两个所述下粘附及阻挡层的相对侧壁之间形成沟槽；

在两个所述电极上各形成一个上粘附及阻挡层，从而在两个所述上粘附及阻挡层之间的所述电极上形成与所述沟槽相通的窗口；

在所述沟槽中形成连接于两个所述电极之间的功能层；其中，所述功能层包括形成于两个所述电极的相对侧壁表面上的电极金属的氧化物层，和连接于所述氧化物层之间的金属氧化物纳米线。

7.根据权利要求6所述的基于柔性衬底的感存算器件制备方法，其特征在于，所述电极金属为铜，所述氧化物层为氧化铜层，所述金属氧化物纳米线为氧化铜纳米线。

8.根据权利要求7所述的基于柔性衬底的感存算器件制备方法，其特征在于，所述在所述沟槽中形成连接于两个所述电极之间的功能层，具体包括：

室温下，将硫代甘油加入醋酸铜水溶液中，并搅拌，形成混合溶液；

将氢氧化钠水溶液倒入所述混合溶液中，并在添加水后继续搅拌，得到含有氧化铜纳米线的悬浮液；

将所述悬浮液滴至所述沟槽中，并进行烘干，在两个所述电极的相对侧壁表面上形成氧化铜层，使烘干后的氧化铜纳米线与氧化铜层相融合，形成连接于两个所述电极之间的功能层。

9.根据权利要求8所述的基于柔性衬底的感存算器件制备方法，其特征在于，所述烘干温度低于等于100℃。

10.根据权利要求6所述的基于柔性衬底的感存算器件制备方法，其特征在于，使用紫外光刻和物理气相沉积技术，形成所述下粘附及阻挡层、所述电极和所述上粘附及阻挡层。