[发明专利]单晶炉用提升装置

说明书

本发明提供一种单晶炉用提升装置，包括升降导向机构、第一吊具、第二吊具以及开合调节机构，第一吊具与升降导向机构可滑动连接；第二吊具与第一吊具可活动连接；开合调节机构连接第二吊具，能够驱动第二吊具相对第一吊具活动，并到达收合位置或者打开位置；第二吊具在收合位置时沿第一吊具的长度方向设置；及在打开位置时与第一吊具形成预设夹角。

技术领域

本发明涉及单晶制备技术领域，尤其涉及一种单晶炉用提升装置。

背景技术

在光伏产业、半导体产业中，人造晶体是常用的原材料。在使用单晶炉制备晶体期间需要向单晶炉内装载热场、坩埚等器件结构。为此行业内广泛使用单晶炉用提升装置来完成炉室提升过程。

为了适配并能够稳定对接炉体，现有的单晶炉用提升装置包括多个由同一中心沿平面向四周伸出的提升吊臂，使得单晶炉用提升装置在闲置或者非工作状态下占据相当大的空间区域，也容易对操作人员产生干扰或安全隐患。

发明内容

鉴于此，本发明提供一种单晶炉用提升装置，该装置在闲置或者非工作状态下占据的空间区域缩小，可以降低对场地空间的要求，并提高操作人员的便利性和安全性。

本发明提供的单晶炉用提升装置包括升降导向机构、第一吊具、第二吊具以及开合调节机构，第一吊具与升降导向机构可滑动连接；第二吊具与第一吊具可活动连接；开合调节机构连接第二吊具，能够驱动第二吊具相对第一吊具活动，并到达收合位置或者打开位置；第二吊具在收合位置时沿第一吊具的长度方向设置；及在打开位置时与第一吊具形成预设夹角。

在其中一个实施方式中，第二吊具转动连接于第一吊具，第二吊具相对第一吊具转动的轴线平行于升降导向机构所限定出的单晶炉升降活动轨迹。

如此设置，第二吊具与第一吊具共同形成一套可折叠切换形态的悬吊架机构，第二吊具在收合位置以及打开位置时分别对应悬吊架机构的收合状态与打开状态。通过折叠运动方式改变悬吊架机构的形态更加方便、便于设置开合调节机构的位置以及其连接第一吊具与第二吊具的方式。

在其中一个实施方式中，第一吊具设有第一吊炉单元，第二吊具设有第二吊炉单元，在第二吊具位于打开位置时，第一吊炉单元与第二吊炉单元分别位于第一吊具朝向地面的一侧和第二吊具朝向地面的一侧。

如此设置，在将炉体的位置设置完成，使其轴线与第二吊具的转动轴线重合的情况下，悬吊架机构一经切换至打开状态，第一吊炉单元与第二吊炉单元能够直接与炉体外周缘相适配，此时便可直接吊装炉体，使用方便。

在其中一个实施方式中，第一吊具包括供第二吊具转动连接的转动安装部、用于连接升降导向机构的升降安装部，第一吊炉单元设于转动安装部与升降安装部之间；或者，转动安装部设于第一吊炉单元与升降安装部之间。

当第一吊炉单元设于转动安装部与升降安装部之间时，第一吊具相对于升降导向机构外伸出的距离可以更小，由此可以将单晶炉用提升装置在第二吊具的长度方向上的尺寸控制在较小的范围内，进一步限制了整套装置的空间区域占用；当转动安装部设于第一吊炉单元与升降安装部之间时，转动安装部与升降导向机构之间的距离较小，因此当悬吊架机构承受炉体重量后，悬吊架各个吊炉单元所在平面的水平度偏差更小，因而炉体被吊起后的倾斜程度更小。

在其中一个实施方式中，第二吊具的数量为两个，当两个第二吊具分别位于相应的打开位置时，两个第二吊具分别向第一吊具相背的两侧倾斜。

如此设置，悬吊架机构在打开状态下可以更稳固地承载炉体，可以避免炉体受力不平衡。

在其中一个实施方式中，开合调节机构包括伸缩推杆单元，伸缩推杆单元的两端分别活动连接于第一吊具与第二吊具，第二吊具在收合位置时，伸缩推杆单元位于第一吊具内部及/或第二吊具内部。